-
إبراز
مضخة فراغ جافة نصف موصل
,مضخة الفراغ الجافة 1200 م3/ساعة
,مضخة الفراغ الجافة للطاقة الشمسية
-
نوع المضخةمضخة الفراغ الجافة
-
سرعة الضخ1200 م³/ساعة
-
الضغط النهائي.50.5 باسكال
-
نوع المحركمحرك متزامن بمغناطيس دائم (PMSM)
-
القوة المقدرة7.5+1.9 كيلو واط
-
الجهد االكهربى380 فولت ثلاث مراحل
-
درجة حرارة ماء التبريد5-30 درجة مئوية
-
تدفق مياه التبريد≥4.7 لتر/دقيقة
-
تدفق التطهير N24-96 لتر/دقيقة
-
اتصال المدخلايزو100
-
اتصال منفذ40 فرنك
-
مستوى الضوضاء≥70 ديسيبل (أ)
-
وزن220 كجم
-
الأبعاد (L × W × H)821×420×791 ملم
-
واجهة التحكمالإدخال/الإخراج وRS485 (بروتوكول Modbus)
-
نظام الختمختم الشفاه + ختم المتاهة مع N2 Purge
-
مكان المنشأالصين
-
اسم العلامة التجاريةGRH
-
إصدار الشهاداتISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
رقم الموديلGRH1202
-
الحد الأدنى لكمية1 مجموعة
-
الأسعارUSD 8,000-12,000 / Set
-
تفاصيل التغليفعلبة من الخشب الرقائقي عالي الجودة للتصدير مع حاجز رطوبة محكم الغلق وحشوة إسفنجية مقاومة للصدمات
-
وقت التسليم15-30 يوم عمل
-
شروط الدفع/ تي تي، خطاب الاعتماد، ويسترن يونيون
-
القدرة على العرض500 مجموعات شهريا
GRH1202 مضخة الفراغ الجاف 1200 M3/H للشاشة الشمسية الشمسية
مضخة تفريغ جافة GRH1202
مضخة التفريغ الجافة GRH1202 هي مضخة تفريغ جافة بقدرة 1200 متر مكعب/ساعة مصممة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات، والخلايا الكهروضوئية، وبطاريات الليثيوم. تتميز بغرفة مضخة خالية تمامًا من الزيت، وحجم مدمج، واستهلاك طاقة منخفض، مما يوفر أداءً موثوقًا به مع تكلفة ملكية إجمالية منخفضة.
الميزات الرئيسية
- محرك متزامن بمغناطيس دائم — يوفر كفاءة طاقة فائقة واستهلاك طاقة أقل مقارنة بمحركات الحث التقليدية.
- هيكل دوار متقدم — قدرة محسنة على استخلاص الغبار، مما يجعل المضخة متسامحة للغاية مع غازات العمل المحملة بالجسيمات.
- مقاومة للغبار وبخار الماء — غير حساسة للغبار وبخار الماء المتضمن في تيار الغاز المضخ.
- تصميم مدمج ومتكامل — حجم صغير مع تكامل نظام عالي لسهولة التركيب في بيئات المصانع المزدحمة.
- حماية شاملة — وظائف حماية مدمجة مع قدرة تكيف قوية لظروف العمل المتغيرة.
- اهتزاز وضوضاء منخفضة — تعمل عند ≤70 ديسيبل (أ) عند الضغط النهائي لبيئة عمل أكثر هدوءًا.
- نظام إحكام متقدم — ختم شفة و ختم متاهة مع تنقية النيتروجين يمنع بفعالية تدفق الزيت العكسي، مما يضمن نظافة فراغ عالية في غرفة العمل.
- التحكم والمراقبة عن بعد — يدعم واجهة الإدخال/الإخراج واتصال RS485 (بروتوكول Modbus) للتكامل السلس في أنظمة أتمتة المصانع.
المواصفات الفنية
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| سرعة الضخ | 1200 متر مكعب/ساعة |
| الضغط النهائي | ≤0.5 باسكال |
| الطاقة المقدرة | 7.5+1.9 كيلو واط |
| الجهد | 380 فولت ثلاثي الطور |
| ضغط ماء التبريد | 0.1-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق ماء التبريد | ≥4.7 لتر/دقيقة |
| درجة حرارة ماء التبريد | 5-30 درجة مئوية |
| وصلة ماء التبريد | G3/8 |
| ضغط تنقية النيتروجين | 0.2-0.6 ميجا باسكال |
| تدفق تنقية النيتروجين | 4-96 لتر/دقيقة |
| وصلة تنقية النيتروجين | G1/4 |
| وصلة المدخل | ISO100 |
| وصلة المخرج | KF40 |
| مستوى الضوضاء | ≤70 ديسيبل (أ) |
| بيئة التشغيل | 5~40 درجة مئوية؛ ≤80% رطوبة نسبية |
| الوزن | 220 كجم |
| الأبعاد (ط*ع*ارتفاع) | 821*420*791 مم |
عمليات التطبيق
عمليات نظيفة
قفل التحميل، النقل، القياس، الطباعة الحجرية
عمليات متوسطة
عملية PVD، تنظيف مسبق لـ PVD، RTA، تجريد/حرق، حفر الأكاسيد، حفر السيليكون، مصدر الزرع، حفر المعادن
عمليات قاسية
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
الصناعات المستهدفة
- أشباه الموصلات: الحفر، زرع الأيونات، CVD، وتطبيقات العمليات النظيفة والمتوسطة والقاسية الأخرى.
- الطاقة الكهروضوئية: أفران نمو الكريستال، عمليات تصنيع الخلايا.
- بطارية الليثيوم: عمليات التجفيف الفراغي للخلايا، تعبئة الإلكتروليت، وإزالة الغازات.
- شاشة مسطحة و LED: عمليات التصنيع التي تتطلب بيئات فراغ عالية النظافة.
منتجات ذات صله
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
