logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Kuru Vakum Pompa Sistemi 600 L/min KF40 PMSM Yarım iletken vakum kaplama için enerji verimli tahrik

  • Vurgulamak

    Kuru vakum pompa sistemi GRM41

    ,

    PMSM Enerji Tasarruflu Sürüş Pompası

    ,

    Yarım iletken vakum kaplama çözeltisi

  • Modeli
    GRM41
  • Tip
    Kuru Vakum Pompa Sistemi
  • Maksimum Pompalama Hızı
    600 L/dak (36 m³/saat)
  • Nihai Basınç (Gaz Balastı Açık)
    ≤10 Pa
  • Nihai Basınç (Gaz Balastı Kapalı)
    ≤1 Pa
  • Maksimum Sürekli Giriş Basıncı
    1000 mbar
  • Egzoz basıncı
    ≤3000 Pa
  • Motor Gücü
    0.75 kW
  • Motorlu Tip
    PMSM (Kalıcı Mıknatıs Senkron Motor)
  • Güç kaynağı
    200-240V, Tek Fazlı, 50/60Hz
  • Nominal Akım
    2,4 bir
  • Giriş Bağlantısı
    KF40
  • Çıkış Bağlantısı
    KF25
  • Gaz Balast Bağlantısı
    PT1/4
  • Gaz Balast Basıncı
    0,02-0,05 MPa
  • Maksimum Su Buharı Kapasitesi
    350 gr/saat
  • Gürültü Seviyesi
    ≤65 dB
  • Yağ hacmi
    0,25 litre
  • Ağırlık
    54 kg
  • Boyutlar
    630×347×400 mm
  • Koruma Sınıfı
    IP20D
  • Kontrol Arayüzü
    RS485 Uzaktan İzleme
  • Ortam sıcaklığı
    5-40°C
  • Menşe yeri
    Zhejiang, Çin
  • Marka adı
    OEM
  • Model numarası
    GRM41
  • Min sipariş miktarı
    1 takım
  • Fiyat
    negotiable
  • Ambalaj bilgileri
    Darbeye dayanıklı köpük parçalı ve vakumla kapatılmış nem bariyerli ihracat sınıfı kontrplak kutu
  • Teslim süresi
    Sipariş onayından sonra 15-30 iş günü
  • Ödeme koşulları
    T/T
  • Yetenek temini
    Ayda 200 takım

GRM41 Kuru Vakum Pompa Sistemi 600 L/min KF40 PMSM Yarım iletken vakum kaplama için enerji verimli tahrik

GRM41 Kuru Vakum Pompası Sistemi

GRM41, yarı iletken imalatı, fotovoltaik hücre üretimi ve düz panel ekran fabrikasyonunda zorlu yüksek saflıkta vakum işlemleri için tasarlanmış yüksek performanslı, yağsız kuru vakum pompası sistemidir. 0,75 kW çıkış gücü sağlayan bir PMSM (Kalıcı Mıknatıslı Senkron Motor) enerji verimli sürücü ile donatılmış bu kompakt sistem, ≤1 Pa nihai basınç ile etkileyici 600 L/dak (36 m³/sa) maksimum pompalama hızına ulaşır. Entegre RS485 uzaktan izleme arayüzü, otomatik üretim ortamlarına sorunsuz entegrasyon sağlar.

Ana Özellikler

  • PMSM Enerji Verimli Sürücü: Kalıcı mıknatıslı senkron motor teknolojisi, 0,75 kW güç tüketimi ile üstün enerji verimliliği sunar, operasyonel maliyetleri düşürürken yüksek performansı korur.
  • Yağsız Kuru Çalışma: Proses odalarında yağ bulaşma riski yoktur, bu da yarı iletken ve fotovoltaik üretim için gerekli olan ultra temiz vakum koşullarını sağlar.
  • Yüksek Vakum Performansı: Nihai basınç ≤1 Pa (gaz balast kapalı) ve ≤10 Pa (gaz balast açık) seviyelerine ulaşır, zorlu yüksek vakum uygulamaları için uygundur.
  • Entegre Gaz Balast Sistemi: PT1/4 bağlantılı dahili gaz balast valfi, 350 g/sa'ya kadar su buharını işler, yoğuşmayı önler ve pompa servis ömrünü uzatır.
  • RS485 Uzaktan İzleme: Akıllı kontrol arayüzü, Endüstri 4.0 entegrasyonu için uzaktan çalıştırma, parametre izleme ve teşhis yeteneklerini destekler.
  • Kompakt Hafif Tasarım: 630*347*400mm boyutları ve sadece 54 kg ağırlığı, alan kısıtlı temiz oda ortamlarında kolay kurulum sağlar.
  • Düşük Gürültü Operasyonu: Entegre susturucu ve çek valf ile ≤65 dB gürültü seviyesi, rahat çalışma ortamları sağlar.
  • Sağlam Yapı: Alüminyum alaşım ve dökme demir gövde, florokarbon (FKM) contalarla uzun süreli güvenilirlik ve kimyasal uyumluluk sağlar.
  • KF Standart Arayüzler: KF40 giriş ve KF25 çıkış bağlantıları, standart vakum bileşenleriyle hızlı, aletsiz montaj için.

Teknik Özellikler

ParametreÖzellik
ModelGRM41
TipKuru Vakum Pompası Sistemi
Maksimum Pompalama Hızı600 L/dak (36 m³/sa)
Nihai Basınç (Gaz Balast Açık)≤10 Pa
Nihai Basınç (Gaz Balast Kapalı)≤1 Pa
Maksimum Sürekli Giriş Basıncı1000 mbar
Egzoz Basıncı≤3000 Pa
Motor Gücü0.75 kW
Motor TipiPMSM (Kalıcı Mıknatıslı Senkron Motor)
Güç Kaynağı200-240V, Tek Fazlı, 50/60Hz
Nominal Akım2.4 A
Giriş BağlantısıKF40
Çıkış BağlantısıKF25
Gaz Balast BağlantısıPT1/4
Gaz Balast Basıncı0.02-0.05 MPa
Maksimum Su Buharı Kapasitesi350 g/sa
Gürültü Seviyesi≤65 dB
Yağ Hacmi0.25 L
Ağırlık54 kg
Boyutlar (U*G*Y)630*347*400 mm
Koruma SınıfıIP20D
Kontrol ArayüzüRS485 Uzaktan İzleme
Ortam Sıcaklığı5-40 ℃

Tipik Uygulamalar

  • Yarı iletken wafer işleme ve fabrikasyonu
  • Fotovoltaik hücre üretimi (PVD, PECVD, aşındırma)
  • Düz panel ekran ve OLED üretimi
  • Vakum kaplama ve ince film biriktirme
  • Araştırma ve laboratuvar yüksek vakum sistemleri
  • Lazer ve optik endüstrisi
  • Analitik cihazlar için destek pompası
  • Yükleme kilidi haznesi tahliyesi