GRH3001 3000 M3/H kuru tip vakum pompası kalıcı mıknatıslı senkron motorlu
-
Vurgulamak
Kalıcı mıknatıs motor kuru vakum pompası
,3000 m3/h kuru vakum pompası
,Yarı İletken PV kuru vakum pompası
-
Pompa TipiKuru vakum pompası
-
Pompalama Hızı3000 m³/h
-
Nihai Basınç≤0,5 Pa
-
Motorlu TipKalıcı Mıknatıslı Senkron Motor (PMSM)
-
Nominal Güç11+7,5 kW
-
Gerilim380V üç fazlı
-
Soğutma suyu sıcaklığı5-30 ° C
-
Soğutma Suyu Akışı≥11 L/dak
-
N2 Temizleme Akışı43-123 L/dak
-
Giriş BağlantısıISO160
-
Çıkış BağlantısıKF40
-
Gürültü Seviyesi≤70 DB(A)
-
Ağırlık770 kilo
-
Boyutlar (L × W × H)922×516×988 mm
-
Kontrol ArayüzüG/Ç ve RS485 (Modbus Protokolü)
-
Sızdırmazlık sistemiDudaklı Conta + N2 Temizlemeli Labirent Conta
-
Menşe yeriÇin
-
Marka adıGRH
-
SertifikaISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Model numarasıGRH3001
-
Min sipariş miktarı1 takım
-
FiyatUSD 18,000-25,000 / Set
-
Ambalaj bilgileriVakumla kapatılmış nem bariyeri ve darbeye dayanıklı köpük ara parçası ile ihracat sınıfı kontrplak
-
Teslim süresi15-30 iş günü
-
Ödeme koşullarıEkipman işleme kapasitesine göre pazarlık yapın
-
Yetenek teminiAyda 500 takım
GRH3001 3000 M3/H kuru tip vakum pompası kalıcı mıknatıslı senkron motorlu
GRH3001 Kuru Vakum Pompası
GRH3001, orta ve büyük ölçekli yarı iletken ve fotovoltaik üretim için tasarlanmış 3000 m³/saat kapasiteli bir kuru vakum pompasıdır. Yağsız pompa haznesi, kompakt tasarım ve düşük enerji tüketimini birleştirerek güvenilir, yüksek hacimli performans sunar.
Ana Özellikler
- Kalıcı Mıknatıslı Senkron Motor — Geleneksel indüksiyon motorlarına kıyasla üstün enerji verimliliği ve daha düşük güç tüketimi sağlar.
- Gelişmiş Rotor Yapısı — Geliştirilmiş toz giderme kabiliyeti, pompanın partikül içeren proses gazlarına karşı yüksek toleranslı olmasını sağlar.
- Toz ve Su Buharı Toleranslı — Pompalanan gaz akışındaki toz ve su buharından etkilenmez.
- Kompakt ve Entegre Tasarım — Dar alanlara kolay kurulum için küçük ayak izi ve yüksek sistem entegrasyonu sunar.
- Kapsamlı Koruma — Değişken proses koşullarına uyum sağlayan güçlü yerleşik koruma fonksiyonları.
- Düşük Titreşim ve Gürültü — Nihai basınçta ≤70 dB(A) ile daha sessiz bir çalışma ortamı sağlar.
- Gelişmiş Sızdırmazlık Sistemi — Dudak contası ve labirent contası, azot süpürme ile birleşerek yağın geri akışını etkili bir şekilde önler ve proses haznesinde yüksek vakum temizliği sağlar.
- Uzaktan Kontrol ve İzleme — Fabrika otomasyon sistemlerine sorunsuz entegrasyon için G/Ç arayüzünü ve RS485 iletişimini (Modbus protokolü) destekler.
Teknik Özellikler
| Parametre | Özellik |
|---|---|
| Pompalama Hızı | 3000 m³/saat |
| Nihai Basınç | ≤0.5 Pa |
| Nominal Güç | 11+7.5 kW |
| Voltaj | 380V Üç Fazlı |
| Soğutma Suyu Basıncı | 0.2-0.6 MPa |
| Soğutma Suyu Akışı | ≥11 L/dak |
| Soğutma Suyu Sıcaklığı | 5-30 °C |
| Soğutma Suyu Bağlantısı | G3/8 |
| N2 Süpürme Basıncı | 0.2-0.6 MPa |
| N2 Süpürme Akışı | 43-123 L/dak |
| N2 Süpürme Bağlantısı | G1/4 |
| Giriş Bağlantısı | ISO160 |
| Çıkış Bağlantısı | KF40 |
| Gürültü Seviyesi | ≤70 dB(A) |
| Çalışma Ortamı | 5~40°C; ≤%80 RH |
| Ağırlık | 770 kg |
| Boyutlar (U*G*Y) | 922*516*988 mm |
Uygulama Süreçleri
Temiz Süreçler
Yükleme Kilidi, Transfer, Metroloji, Litografi
Orta Süreçler
PVD Süreci, PVD Ön Temizleme, RTA, Strip/Ashing, Oksit Etching, Silikon Etching, İmplant Kaynağı, Metal Etching
Zorlu Süreçler
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Hedef Endüstriler
- Yarı İletken: Etching, iyon implantasyonu, CVD ve diğer temiz, orta ve zorlu proses uygulamaları.
- Fotovoltaik: Kristal büyüme fırınları, hücre üretim süreçleri.
- Lityum Pil: Hücre vakum kurutma, elektrolit doldurma ve gaz alma süreçleri.
- Düz Panel Ekran ve LED: Yüksek temizlik gerektiren vakum ortamları gerektiren üretim süreçleri.
ilgili ürünler
Ürünlerimiz tüm dünyada satılmaktadır. Ürünlerimizin tüm sürecinden emin olabilirsiniz.
