GRM4201, geniş çalışma basınç aralığı ve üstün toz işleme ile olağanüstü vakum seviyelerine ulaşan yüksek kapasiteli 4200 m3/h kuru vakum pompasıdır.Su soğutmalı tamamen mühürlü motor, ve akıllı PLC tek düğmeli kontrolü, HJT hücre üretimi, lityum pil üretimi ve yarı iletken yük-kilit hızlı tahliye için idealdir.
| Parametreler | Spesifikasyon |
|---|---|
| Pompalama Hızı | 4200 m3/s |
| Son Baskı | ≤0,5 Pa |
| Adlık Güç | 13+10 kW |
| Voltaj | 380V Üç Fazlı |
| Soğutma Su Basıncı | 0.2-0.5 MPa |
| Soğutma suyu akışı | 8-10 L/min |
| Soğutma suyunun sıcaklığı | 5-25 °C |
| Soğutma suyu bağlantısı | G3/8 |
| N2 Temizleme Basıncı | 0.1-0.7 MPa |
| N2 Temizleme Akışı | 0-120 L/dakika |
| N2 temizleme bağlantısı | G1/4 |
| Giriş bağlantısı | ISO160 |
| Çıkış Bağlantısı | KF50 |
| Gürültü seviyesi | ≤75 dB ((A) |
| Çalışma ortamı | 5~40°C; %80 RH |
| Ağırlık | 269 kg |
| Boyutlar (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Yük kilitleme, transfer, metroloji, litografi
PVD Süreci, PVD Ön Temizleme, RTA, Şerit / Külleme, Oksit Etch, Silikon Etch, İmplant Kaynağı, Metal Etch
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD