-
Vurgulamak
380V Üç Fazlı kuru vakum pompası
,1800 m³/saat kuru vakum pompası
,Yarı İletken Proses kuru vakum pompası
-
Pompa TipiKuru vakum pompası
-
Pompalama Hızı1800 m³/h
-
Nihai Basınç≤0,5 Pa
-
Motorlu TipKalıcı Mıknatıslı Senkron Motor (PMSM)
-
Nominal Güç7,5+4,5 kW
-
Gerilim380V Üç Fazlı
-
Soğutma suyu sıcaklığı10-30°C
-
Soğutma Suyu Akışı6 L/dak
-
N2 Temizleme Akışı4-96 L/dak
-
Giriş BağlantısıISO160
-
Çıkış BağlantısıKF40
-
Gürültü Seviyesi<70 dB(A)
-
Ağırlık472 kilo
-
Boyutlar (L × W × H)935×420×795 mm
-
Kontrol ArayüzüG/Ç ve RS485 (Modbus Protokolü)
-
Sızdırmazlık sistemiDudaklı Conta + N2 Temizlemeli Labirent Conta
-
Menşe yeriÇin
-
Marka adıGRH
-
SertifikaISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Model numarasıGRH1802
-
Min sipariş miktarı1 takım
-
FiyatUSD 12,000-18,000 / Set
-
Ambalaj bilgileriVakumla kapatılmış nem bariyeri ve darbeye dayanıklı köpük ara parçası ile ihracat sınıfı kontrplak
-
Teslim süresi15-30 iş günü
-
Ödeme koşullarıEkipman işleme kapasitesine göre pazarlık yapın
-
Yetenek teminiAyda 500 takım
380V Üç Fazlı Kuru Vakum Pompası GRH1802 1800 M³/H
GRH1802 Kuru vakum pompası
GRH1802, zorlu yarı iletken ve fotovoltaik işlemler için tasarlanmış 1800 m3/h kuru vakum pompasıdır.Güçlü toz işleme yeteneği ile güvenilir performans sağlar.
Temel Özellikler
- Kalıcı mıknatıslı senkronizasyon motor Geleneksel indüksiyon motorlarına kıyasla daha yüksek enerji verimliliği ve daha düşük güç tüketimi sağlar.
- Gelişmiş Rotor Yapısı ️ Parçacık yüklü süreç gazlarına karşı yüksek toleranslı bir pompa oluşturan daha iyi toz çıkarma yeteneği.
- Toz ve su buharına dayanıklıPompalı gaz akışında çekilen toz ve su buharına karşı duyarsızdır.
- Kompakt ve Entegre Tasarım- Kalabalık fabrika ortamlarında kolay kurulum için yüksek sistem entegrasyonu ile küçük ayak izi.
- Kapsamlı Koruma️ Değişen süreç koşullarına karşı güçlü uyarlanma yeteneğine sahip yerleşik koruma fonksiyonları.
- Düşük titreşim ve gürültüDaha sessiz bir çalışma alanı için <70 dB (A) 'da en yüksek basınçta çalışır.
- Gelişmiş Mühürleme SistemiDudak mühürü ve labirent mühürü, nitrojen temizliği ile birlikte, yağın geri akışını etkili bir şekilde önler ve işlem odasında yüksek vakum temizliğini sağlar.
- Uzaktan Kumanda ve İzlemeFabrika otomasyon sistemlerine sorunsuz entegrasyon için I / O arayüzünü ve RS485 iletişimini (Modbus protokolü) destekler.
Teknik özellikler
| Parametreler | Spesifikasyon |
|---|---|
| Pompalama Hızı | 1800 m3/h |
| Son Baskı | ≤0,5 Pa |
| Adlık Güç | 7.5+4.5 kW |
| Voltaj | 380V Üç Fazlı |
| Soğutma Su Basıncı | 0.3-0.6 MPa |
| Soğutma suyu akışı | 6 L/dakikada |
| Soğutma suyunun sıcaklığı | 10-30 °C |
| Soğutma suyu bağlantısı | G3/8 |
| N2 Temizleme Basıncı | 0.3-0.6 MPa |
| N2 Temizleme Akışı | 4-96 L/dakika |
| N2 temizleme bağlantısı | G1/4 |
| Giriş bağlantısı | ISO160 |
| Çıkış Bağlantısı | KF40 |
| Gürültü seviyesi | < 70 dB ((A) |
| Çalışma ortamı | 5~40°C; %80 RH |
| Ağırlık | 472 kg |
| Boyutlar (L*W*H) | 935*420*795 mm |
Başvuru Süreçleri
Temiz Süreçler
Yük kilitleme, transfer, metroloji, litografi
Orta süreçler
PVD Süreci, PVD Ön Temizleme, RTA, Şerit / Külleme, Oksit Etch, Silikon Etch, İmplant Kaynağı, Metal Etch
Zorlu Süreçler
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Hedef Endüstriler
- Yarım iletken:Çizim, iyon ekimi, CVD ve diğer temiz, orta ve sert süreç uygulamaları.
- Fotovoltaik:Kristal büyüme fırınları, hücre üretim süreçleri.
- Lityum pil:Hücre vakum kurutma, elektrolit doldurma ve gaz çıkarma işlemleri.
- Düz panel ekranı ve LED:Yüksek temizlik vakum ortamları gerektiren üretim süreçleri.
ilgili ürünler
Ürünlerimiz tüm dünyada satılmaktadır. Ürünlerimizin tüm sürecinden emin olabilirsiniz.
