-
Vurgulamak
ISO100 Girişli kuru vakum pompası
,600 m³/saat kuru vakum pompası
,KF25 Çıkışlı kuru vakum pompası
-
Pompa TipiKuru vakum pompası
-
Pompalama Hızı600 m³/saat
-
Nihai Basınç≤0,15 Pa
-
Motorlu TipKalıcı Mıknatıslı Senkron Motor (PMSM)
-
Nominal Güç1,9+1,9 kW
-
Gerilim380V üç fazlı
-
Soğutma suyu sıcaklığı5-30 ° C
-
Soğutma Suyu Akışı≥4 L/dak
-
N2 Temizleme Akışı12-50 L/dk
-
Giriş BağlantısıISO100
-
Çıkış BağlantısıKF25
-
Gürültü Seviyesi≤63 dB(A)
-
Ağırlık260 kg
-
Boyutlar (L × W × H)865×344×751 mm
-
Kontrol ArayüzüG/Ç ve RS485 (Modbus Protokolü)
-
Sızdırmazlık sistemiDudaklı Conta + N2 Temizlemeli Labirent Conta
-
Gaz UyumluluğuYanıcı, patlayıcı ve yoğunlaşabilen proses gazları
-
Menşe yeriÇin
-
Marka adıGRM
-
SertifikaISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Model numarasıGRM601
-
Min sipariş miktarı1 takım
-
FiyatUSD 8,000-13,000 / Set
-
Ambalaj bilgileriVakumla kapatılmış nem bariyeri ve darbeye dayanıklı köpük ara parçası ile ihracat sınıfı kontrplak
-
Teslim süresi15-30 iş günü
-
Ödeme koşullarıEkipman işleme kapasitesine göre pazarlık yapın
-
Yetenek teminiAyda 300 takım
GRM601 600 M³/H Kuru Vakum Pompası ISO100 KF25
GRM601 Kuru Vakum Pompası
GRM601, düşük güç tüketimi ve yüksek pompalama hızı sunan 600 m³/saat kapasiteli bir kuru vakum pompasıdır. Yanıcı, patlayıcı ve yoğunlaşabilir proses gazlarını güvenli bir şekilde işler, PECVD, MOCVD ve SIC-CVD yarı iletken prosesleri için tasarlanmıştır.
Ana Özellikler
- Kalıcı Mıknatıslı Senkron Motor — Sektör lideri düşük güç tüketimi ile üstün enerji verimliliği sağlar.
- Gelişmiş Rotor Yapısı — Artırılmış toz giderme kabiliyeti, partikül yoğun proses ortamlarında güvenilir çalışma sağlar.
- Toz ve Su Buharı Toleranslı — Pompalanan gaz akışındaki toz ve su buharına karşı duyarsızdır.
- Kompakt ve Entegre Tasarım — Dar alanlara kolay kurulum için küçük ayak izi ve yüksek sistem entegrasyonu.
- Kapsamlı Koruma — Değişken proses koşullarına uyum sağlayan güçlü yerleşik koruma fonksiyonları.
- Düşük Titreşim ve Gürültü — Nihai basınçta ≤63 dB(A) ile daha sessiz bir çalışma ortamı sağlar.
- Gelişmiş Sızdırmazlık Sistemi — Dudak contası ve labirent contası, azot süpürme ile birleşerek yağ geri akışını etkili bir şekilde önler, proses odasında yüksek vakum temizliğini korur.
- Uzaktan Kontrol ve İzleme — Fabrika otomasyon sistemlerine sorunsuz entegrasyon için G/Ç arayüzünü ve RS485 iletişimini (Modbus protokolü) destekler.
- Tehlikeli Gazlarla Uyumlu — Yanıcı, patlayıcı ve yoğunlaşabilir proses gazları ile güvenli çalışma.
Teknik Özellikler
| Parametre | Özellik |
|---|---|
| Pompalama Hızı | 600 m³/saat |
| Nihai Basınç | ≤0.15 Pa |
| Nominal Güç | 1.9+1.9 kW |
| Voltaj | 380V Üç Fazlı |
| Soğutma Suyu Basıncı | 0.2-0.6 MPa |
| Soğutma Suyu Akışı | ≥4 L/dak |
| Soğutma Suyu Sıcaklığı | 5-30 °C |
| Soğutma Suyu Bağlantısı | G3/8 |
| N2 Süpürme Basıncı | 0.2-0.6 MPa |
| N2 Süpürme Akışı | 12-50 L/dak |
| N2 Süpürme Bağlantısı | G1/4 |
| Giriş Bağlantısı | ISO100 |
| Çıkış Bağlantısı | KF25 |
| Gürültü Seviyesi | ≤63 dB(A) |
| Çalışma Ortamı | 5~40°C; ≤%80 RH |
| Ağırlık | 260 kg |
| Boyutlar (U*G*Y) | 865*344*751 mm |
Uygulama Prosesleri
Temiz Prosesler
Yükleme Bölmesi, Transfer, Metroloji, Litografi
Orta Seviye Prosesler
PVD Prosesi, PVD Ön Temizleme, RTA, Strip/Ashing, Oksit Etch, Silikon Etch, İmplant Kaynağı, Metal Etch
Zorlu Prosesler
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Hedef Endüstriler
- Yarı İletken: Etching, iyon implantasyonu, CVD, PECVD, MOCVD ve SIC-CVD temiz/orta/zorlu proses uygulamaları.
- Fotovoltaik: Kristal büyüme fırınları, hücre üretim süreçleri.
- Lityum Pil: Hücre vakum kurutma, elektrolit dolumu ve gaz giderme süreçleri.
- Düz Panel Ekran ve LED: Yüksek temizlikte vakum ortamları gerektiren üretim süreçleri.
ilgili ürünler
Ürünlerimiz tüm dünyada satılmaktadır. Ürünlerimizin tüm sürecinden emin olabilirsiniz.
