GRM41 Система сухого вакуумного насоса 600 л/мин KF40 PMSM Энергоэффективный привод для вакуумного покрытия полупроводников

Ключевые особенности

• Энергоэффективный привод PMSM:Технология синхронного двигателя с постоянным магнитом обеспечивает высокую энергоэффективность с расходом энергии 0,75 кВт, снижая эксплуатационные затраты при сохранении высокой производительности.
• Сухая операция без масла:Не существует риска загрязнения маслом в процессовых камерах, обеспечивая сверхчистые вакуумные условия, необходимые для производства полупроводников и фотоэлектрической энергии.
• Высокая вакуумная производительность:Обладает максимальным давлением ≤1 Pa (закрытый газовый балласт) и ≤10 Pa (открытый газовый балласт), подходящим для требовательных приложений с высоким вакуумом.
• Интегрированная газовая балластная система:Встроенный газовый балластный клапан с соединением PT1/4 обрабатывает водяной пар до 350 г/ч, предотвращая конденсацию и увеличивая срок службы насоса.
• RS485 дистанционный мониторинг:Интеллектуальный интерфейс управления поддерживает удаленную работу, мониторинг параметров и диагностические возможности для интеграции в промышленность 4.0.
• Компактный дизайн легкого веса:Размеры 630*347*400 мм и вес всего 54 кг позволяют легко устанавливать в помещениях с ограниченным пространством.
• Работа с низким уровнем шума:Уровень шума ≤ 65 дБ с встроенным глушителем и тормозным клапаном, обеспечивающим комфортную рабочую среду.
• Прочное строительство:Алюминиевый сплав и корпус из чугуна с фторэластомерными уплотнениями обеспечивают долгосрочную надежность и химическую совместимость.
• Стандартные интерфейсы KF:Впускные и выпускные соединения KF40 и KF25 для быстрой сборки без использования инструментов с стандартными вакуумными компонентами.