logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

GRM4201 Сухой вакуумный насос 4200 M3/H PMSM без масла Привод ISO160 KF50 Для литиевой батареи HJT

  • Выделить

    Сухой вакуумный насос без масла

    ,

    4200 м3/ч сухой вакуумный насос

    ,

    Сухой вакуумный насос на литиевом аккумуляторе HJT

  • Тип насоса
    сухой вакуумный насос
  • Скорость откачки
    4200 м³/ч
  • Предельное давление
    ≤0,5 Па
  • Тип двигателя
    Синхронный двигатель с постоянными магнитами (PMSM)
  • Номинальная мощность
    13+10 кВт
  • Напряжение
    380 В трехфазный
  • Охлаждающая температура воды
    5-25 °C
  • Расход охлаждающей воды
    8-10 л/мин
  • Продувочный поток N2
    0-120 л/мин
  • Входное соединение
    ISO160
  • Выходное соединение
    50 франков
  • Уровень шума
    ≤75 дБ (а)
  • Масса
    269 KG
  • Размеры (L × w × h)
    1695×600×1450 мм
  • Интерфейс управления
    Ввод-вывод и RS485 (протокол Modbus)
  • Система уплотнений
    Манжетное уплотнение + лабиринтное уплотнение с продувкой N2
  • Конструкция подшипника
    Двусторонняя опора подшипника
  • Режим управления
    Интеллектуальный ПЛК с функцией запуска/остановки одной кнопкой
  • Место происхождения
    Китай
  • Фирменное наименование
    GRM
  • Сертификация
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Номер модели
    GRM4201
  • Количество мин заказа
    1 комплект
  • Цена
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Упаковывая детали
    Фанерный кейс экспортного качества с вакуумной защитой от влаги и противоударной вставкой из пенопла
  • Время доставки
    25-40 рабочих дней
  • Условия оплаты
    Т/Т, Л/К, Вестерн Юнион
  • Поставка способности
    100 комплектов в месяц

GRM4201 Сухой вакуумный насос 4200 M3/H PMSM без масла Привод ISO160 KF50 Для литиевой батареи HJT

Сухой вакуумный насос GRM4201

GRM4201 — это сухой вакуумный насос высокой производительности 4200 м³/ч, обеспечивающий исклютельные уровни вакуума в широком диапазоне рабочего давления и превосходную способность к работе с пылью. Благодаря двухсторонней опоре подшипников, водоохлаждаемому полностью герметичному двигателю и интеллектуальному управлению одной кнопкой с помощью ПЛК, он идеально подходит для производства HJT-элементов, производства литиевых батарей и быстрой эвакуации в полупроводниковых системах с загрузочным шлюзом.

Ключевые особенности

  • Водоохлаждаемый полностью герметичный синхронный двигатель с постоянными магнитами и приводом VFD максимизирует выходной крутящий момент для требовательных процессов, устраняя риск утечки масла.
  • Уникальная конструкция ротора, изготовленная на современном оборудовании с превосходной геометрической точностью, полностью взаимозаменяема для снижения шума и продления срока службы.
  • Устойчивость к пыли и парам воды— Нечувствителен к пыли и парам воды, уносимым потоком откачиваемого газа.
  • Компактная и интегрированная конструкция— Малая занимаемая площадь с высокой степенью интеграции системы для легкой установки в загруженных производственных помещениях.
  • Комплексная защита— Встроенные функции защиты с высокой адаптивностью к изменяющимся условиям процесса.
  • Низкий уровень вибрации и шума— Работает при ≤75 дБ(А) при предельном давлении для более тихой рабочей среды.
  • Усовершенствованная система уплотнения— Усовершенствованное кромчатое уплотнение с лабиринтным масляным барьером обеспечивает превосходные характеристики уплотнения и продленный срок службы. В сочетании с продувкой азотом предотвращает загрязнение маслосборника технологическими средами, достигая полностью безмасляной вакуумной среды.
  • Удаленное управление и мониторинг— Поддерживает интерфейс ввода-вывода и связь RS485 (протокол Modbus) для бесшовной интеграции в системы автоматизации производства.
  • Конструкция с двухсторонней опорой подшипников— Обеспечивает надежную поддержку ротора, чрезвычайно низкую вибрацию и превосходную надежность при запуске, что делает его идеальным для жестких условий эксплуатации.
  • Водоохлаждаемый полностью герметичный двигатель— Высокоэффективный PMSM с приводом VFD максимизирует выходной крутящий момент. Полностью герметичная конструкция двигателя устраняет риск утечки масла, повышая надежность эксплуатации и продлевая срок службы.
  • Интеллектуальная система управления ПЛК— Интеллектуальное программирование обеспечивает запуск/остановку одной кнопкой. Поддерживает внешний интерфейс ввода-вывода и связь RS485 (протокол Modbus-RTU) для интеграции удаленного управления и мониторинга.

Технические характеристики

Параметр Спецификация
Производительность откачки 4200 м³/ч
Предельный вакуум ≤0,5 Па
Номинальная мощность 13+10 кВт
Напряжение 380 В трехфазное
Давление охлаждающей воды 0,2-0,5 МПа
Расход охлаждающей воды 8-10 л/мин
Температура охлаждающей воды 5-25 °C
Подключение охлаждающей воды G3/8
Давление продувки азотом 0,1-0,7 МПа
Расход продувки азотом 0-120 л/мин
Подключение продувки азотом G1/4
Входное соединение ISO160
Выходное соединение KF50
Уровень шума ≤75 дБ(А)
Условия эксплуатации 5~40°C; ≤80% RH
Вес 269 кг
Размеры (Д*Ш*В) 1695*600*1450 мм

Технологические процессы применения

Чистые процессы

Загрузочный шлюз, перенос, метрология, литография

Средние процессы

Процесс PVD, предварительная очистка PVD, RTA, травление/очистка, травление оксида, травление кремния, источник имплантации, травление металла

Жесткие процессы

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Целевые отрасли

  • Гетеропереходные (HJT) солнечные элементы: Требования к вакууму в процессе PECVD.
  • Промышленность литиевых батарей: Масштабная вакуумная сушка и обработка электролита.
  • Полупроводники: Быстрая эвакуация в загрузочном шлюзе и предварительное создание вакуума в технологических камерах.
  • Вакуумное напыление: Применение в загрузочных шлюзах промышленных систем вакуумного/химического осаждения из газовой фазы.