GRM4201 — это сухой вакуумный насос высокой производительности 4200 м³/ч, обеспечивающий исклютельные уровни вакуума в широком диапазоне рабочего давления и превосходную способность к работе с пылью. Благодаря двухсторонней опоре подшипников, водоохлаждаемому полностью герметичному двигателю и интеллектуальному управлению одной кнопкой с помощью ПЛК, он идеально подходит для производства HJT-элементов, производства литиевых батарей и быстрой эвакуации в полупроводниковых системах с загрузочным шлюзом.
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Производительность откачки | 4200 м³/ч |
| Предельный вакуум | ≤0,5 Па |
| Номинальная мощность | 13+10 кВт |
| Напряжение | 380 В трехфазное |
| Давление охлаждающей воды | 0,2-0,5 МПа |
| Расход охлаждающей воды | 8-10 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 5-25 °C |
| Подключение охлаждающей воды | G3/8 |
| Давление продувки азотом | 0,1-0,7 МПа |
| Расход продувки азотом | 0-120 л/мин |
| Подключение продувки азотом | G1/4 |
| Входное соединение | ISO160 |
| Выходное соединение | KF50 |
| Уровень шума | ≤75 дБ(А) |
| Условия эксплуатации | 5~40°C; ≤80% RH |
| Вес | 269 кг |
| Размеры (Д*Ш*В) | 1695*600*1450 мм |
Загрузочный шлюз, перенос, метрология, литография
Процесс PVD, предварительная очистка PVD, RTA, травление/очистка, травление оксида, травление кремния, источник имплантации, травление металла
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD