GRH1802 — это сухой вакуумный насос производительностью 1800 м³/ч, разработанный для требовательных полупроводниковых и фотоэлектрических процессов. Благодаря безмасляной камере насоса, компактным размерам и низкому энергопотреблению он обеспечивает надежную работу с высокой способностью к обработке пыли.
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Производительность откачки | 1800 м³/ч |
| Предельное давление | ≤0,5 Па |
| Номинальная мощность | 7,5+4,5 кВт |
| Напряжение | 380 В трехфазное |
| Давление охлаждающей воды | 0,3-0,6 МПа |
| Расход охлаждающей воды | 6 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 10-30 °C |
| Подключение охлаждающей воды | G3/8 |
| Давление продувки азотом | 0,3-0,6 МПа |
| Расход продувки азотом | 4-96 л/мин |
| Подключение продувки азотом | G1/4 |
| Подключение входа | ISO160 |
| Подключение выхода | KF40 |
| Уровень шума | <70 дБ(А) |
| Условия эксплуатации | 5~40°C; ≤80% RH |
| Вес | 472 кг |
| Размеры (Д*Ш*В) | 935*420*795 мм |
Загрузочный шлюз, Трансфер, Метрология, Фотолитография
Процесс PVD, Предварительная очистка PVD, RTA, Отжиг/Снятие резиста, Травление оксида, Травление кремния, Источник имплантации, Травление металла
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD