logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
380V Three Phase Dry Vacuum Pump GRH1802 1800 M³/H

380В трехфазный сухой вакуумный насос GRH1802 1800 М3/ч

  • Выделить

    380В трехфазный сухой вакуумный насос

    ,

    1800 м3/ч сухой вакуумный насос

    ,

    Полупроводниковый процесс сухой вакуумный насос

  • Тип насоса
    сухой вакуумный насос
  • Скорость откачки
    1800 м³/ч
  • Предельное давление
    ≤0,5 Па
  • Тип двигателя
    Синхронный двигатель с постоянными магнитами (PMSM)
  • Номинальная мощность
    7,5+4,5 кВт
  • Напряжение
    380 В, трехфазный
  • Охлаждающая температура воды
    10-30 °С
  • Расход охлаждающей воды
    6 л/мин
  • Продувочный поток N2
    4-96 л/мин
  • Входное соединение
    ISO160
  • Выходное соединение
    КФ40
  • Уровень шума
    <70 дБ(А)
  • Масса
    472 кг
  • Размеры (L × w × h)
    935×420×795 мм
  • Интерфейс управления
    Ввод-вывод и RS485 (протокол Modbus)
  • Система уплотнений
    Манжетное уплотнение + лабиринтное уплотнение с продувкой N2
  • Место происхождения
    Китай
  • Фирменное наименование
    GRH
  • Сертификация
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Номер модели
    ГРХ1802
  • Количество мин заказа
    1 комплект
  • Цена
    USD 12,000-18,000 / Set
  • Упаковывая детали
    Фанерный кейс экспортного качества с вакуумной защитой от влаги и противоударной вставкой из пенопла
  • Время доставки
    15-30 рабочих дней
  • Условия оплаты
    Т/Т, Л/К, Вестерн Юнион
  • Поставка способности
    500 комплектов в месяц

380В трехфазный сухой вакуумный насос GRH1802 1800 М3/ч

Сухой вакуумный насос GRH1802

GRH1802 — это сухой вакуумный насос производительностью 1800 м³/ч, разработанный для требовательных полупроводниковых и фотоэлектрических процессов. Благодаря безмасляной камере насоса, компактным размерам и низкому энергопотреблению он обеспечивает надежную работу с высокой способностью к обработке пыли.

Ключевые особенности

  • Синхронный двигатель с постоянными магнитами — Обеспечивает превосходную энергоэффективность и более низкое энергопотребление по сравнению с традиционными асинхронными двигателями.
  • Усовершенствованная конструкция ротора — Улучшенная способность к извлечению пыли, что делает насос очень устойчивым к технологическим газам, содержащим частицы.
  • Устойчивость к пыли и водяному пару — Нечувствительность к пыли и водяному пару, уносимым потоком откачиваемого газа.
  • Компактная и интегрированная конструкция — Малые габариты с высокой степенью интеграции системы для легкой установки в загруженных производственных помещениях.
  • Комплексная защита — Встроенные функции защиты с высокой адаптивностью к изменяющимся условиям процесса.
  • Низкий уровень вибрации и шума — Работает при уровне шума <70 дБ(А) при предельном давлении, обеспечивая более тихую рабочую среду.
  • Усовершенствованная система уплотнений — Комбинация манжетного и лабиринтного уплотнений с продувкой азотом эффективно предотвращает обратное проникновение масла, обеспечивая высокую чистоту вакуума в камере процесса.
  • Дистанционное управление и мониторинг — Поддерживает интерфейс ввода-вывода и связь RS485 (протокол Modbus) для бесшовной интеграции в системы автоматизации производства.

Технические характеристики

Параметр Спецификация
Производительность откачки 1800 м³/ч
Предельное давление ≤0,5 Па
Номинальная мощность 7,5+4,5 кВт
Напряжение 380 В трехфазное
Давление охлаждающей воды 0,3-0,6 МПа
Расход охлаждающей воды 6 л/мин
Температура охлаждающей воды 10-30 °C
Подключение охлаждающей воды G3/8
Давление продувки азотом 0,3-0,6 МПа
Расход продувки азотом 4-96 л/мин
Подключение продувки азотом G1/4
Подключение входа ISO160
Подключение выхода KF40
Уровень шума <70 дБ(А)
Условия эксплуатации 5~40°C; ≤80% RH
Вес 472 кг
Размеры (Д*Ш*В) 935*420*795 мм

Применяемые процессы

Чистые процессы

Загрузочный шлюз, Трансфер, Метрология, Фотолитография

Средние процессы

Процесс PVD, Предварительная очистка PVD, RTA, Отжиг/Снятие резиста, Травление оксида, Травление кремния, Источник имплантации, Травление металла

Агрессивные процессы

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Целевые отрасли

  • Полупроводники: Травление, ионная имплантация, CVD и другие чистые, средние и агрессивные технологические процессы.
  • Фотовольтаика: Печи для выращивания кристаллов, процессы производства элементов.
  • Литиевые батареи: Вакуумная сушка элементов, заливка электролита и процессы дегазации.
  • Плоскопанельные дисплеи и светодиоды: Производственные процессы, требующие вакуумных сред высокой чистоты.