GRH3001 3000 M3/H вакуумный насос сухого типа с постоянным магнитным синхронным двигателем
-
Выделить
Постоянный магнит двигатель сухой вакуумный насос
,3000 м3/ч сухой вакуумный насос
,Полупроводниковый ПВ-сухой вакуумный насос
-
Тип насосасухой вакуумный насос
-
Скорость откачки³ /h 3000 m
-
Предельное давление≤0,5 Па
-
Тип двигателяСинхронный двигатель с постоянными магнитами (PMSM)
-
Номинальная мощность11+7,5 кВт
-
Напряжение380 В трехфазный
-
Охлаждающая температура воды5-30 ° C.
-
Расход охлаждающей воды≥11 л/мин
-
Продувочный поток N243-123 л/мин
-
Входное соединениеISO160
-
Выходное соединениеКФ40
-
Уровень шума≤ 70 DB ((A)
-
Масса770 кг
-
Размеры (L × w × h)922×516×988 мм
-
Интерфейс управленияВвод-вывод и RS485 (протокол Modbus)
-
Система уплотненийМанжетное уплотнение + лабиринтное уплотнение с продувкой N2
-
Место происхожденияКитай
-
Фирменное наименованиеGRH
-
СертификацияISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Номер моделиГРХ3001
-
Количество мин заказа1 комплект
-
ЦенаUSD 18,000-25,000 / Set
-
Упаковывая деталиФанерный кейс экспортного качества с вакуумной защитой от влаги и противоударной вставкой из пенопла
-
Время доставки15-30 рабочих дней
-
Условия оплатыТ/Т, Л/К, Вестерн Юнион
-
Поставка способности500 комплектов в месяц
GRH3001 3000 M3/H вакуумный насос сухого типа с постоянным магнитным синхронным двигателем
GRH3001 Сухой вакуумный насос
GRH3001 - это сухой вакуумный насос мощностью 3000 м3/ч, предназначенный для производства полупроводников и фотоэлектрической энергии в среднем и большом масштабах.и низкое энергопотребление для надежной производительности большого объема.
Ключевые особенности
- Постоянный магнит синхронный двигатель обеспечивает высокую энергоэффективность и меньшее потребление энергии по сравнению с обычными индукционными двигателями.
- Усовершенствованная структура ротора Улучшенная способность к извлечению пыли, что делает насос высокотолерантным к газовым процессам, содержащим твердые частицы.
- Толерантность к пыли и водному паруНечувствительны к пыли и водяным парам, попадающим в насос.
- Компактный и интегрированный дизайнМалый отпечаток с высокой системой интеграции для легкой установки в переполненных фабричных средах.
- Полная защитаВстроенные функции защиты с сильной адаптивной способностью к различным условиям процесса.
- Низкие вибрации и шумРаботает при ≤ 70 дБ (А) при максимальном давлении для более тихого рабочего места.
- Усовершенствованная система уплотнения¢ Уплотнение губ и лабиринта в сочетании с очисткой азота эффективно предотвращает обратный поток масла, обеспечивая высокую чистоту вакуума в процессной камере.
- Дистанционное управление и мониторингПоддерживает интерфейс ввода/вывода и коммуникацию RS485 (протокол Modbus) для бесшовной интеграции в системы автоматизации заводов.
Технические спецификации
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Скорость перекачки | 3000 м3/ч |
| Окончательное давление | ≤ 0,5 Pa |
| Номинальная мощность | 11+7,5 кВт |
| Напряжение | Трифазный 380В |
| Давление охлаждающей воды | 0.2-0.6 МПа |
| Поток охлаждающей воды | ≥ 11 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 5-30 °C |
| Подключение охлаждающей воды | G3/8 |
| Напряжение N2 | 0.2-0.6 МПа |
| Поток очистки N2 | 43-123 л/мин |
| Соединение для очистки от N2 | G1/4 |
| Соединение входа | ISO 160 |
| Подключение розетки | КФ40 |
| Уровень шума | ≤ 70 дБ ((А) |
| Окружающая среда | 5 ~ 40°C; ≤ 80% RH |
| Вес | 770 кг |
| Размеры (L*W*H) | 922*516*988 мм |
Процессы подачи заявок
Чистые процессы
Загрузка, перевозка, метрология, литография
Средние процессы
Процесс ПВД, предварительная очистка ПВД, RTA, полоска/попел, окислительная резьба, кремниевая резьба, источник имплантатов, металлическая резьба
Жестокие процессы
В случае, если вы не можете получить разрешение на использование данного оборудования, вы можете использовать его в соответствии с требованиями, установленными в соответствии с настоящим регламентом.
Целевые отрасли
- Полупроводники:Этировка, имплантация ионов, СВД и другие чистые, средние и жесткие процессы.
- Фотоэлектрическая:Печи для выращивания кристаллов, процессы производства клеток.
- Литийная батарея:Процессы вакуумной сушки клеток, наполнения электролитами и обезгазирования.
- Дисплей плоской панели и светодиод:Производственные процессы, требующие высокочистых вакуумных условий.
сопутствующие товары
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.
