GRH6001 — это сухой вакуумный насос высокой производительности 6000 м³/ч, разработанный для крупномасштабных производственных линий полупроводников и фотовольтаики. Он оснащен безмасляной камерой насоса, компактными размерами и низким энергопотреблением для требовательных высокообъемных применений.
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Производительность откачки | 6000 м³/ч |
| Предельное давление | ≤0,5 Па |
| Номинальная мощность | 11+7,5 кВт |
| Напряжение | 380 В, трехфазное |
| Давление охлаждающей воды | 0,2-0,6 МПа |
| Расход охлаждающей воды | ≥11 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 5-30 °C |
| Подключение охлаждающей воды | G3/8 |
| Давление продувки азотом | 0,2-0,6 МПа |
| Расход продувки азотом | 43-123 л/мин |
| Подключение продувки азотом | G1/4 |
| Подключение входа | ISO250 |
| Подключение выхода | KF40 |
| Уровень шума | ≤70 дБ(А) |
| Условия эксплуатации | 5~40°C; ≤80% относительной влажности |
| Вес | 846 кг |
| Размеры (Д*Ш*В) | 1076*516*988 мм |
Загрузочный шлюз, трансфер, метрология, литография
Процесс PVD, предварительная очистка PVD, RTA, травление/очистка, травление оксида, травление кремния, источник имплантации, травление металла
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD