logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH6001 6000 M³/H Dry Running Pump Oil Free 380V Three Phase

GRH6001 6000 м³/ч безмасляный насос сухого хода 380В трехфазный

  • Выделить

    Сухой вакуумный насос без масла

    ,

    6000 м³/ч вакуумный насос сухого хода

    ,

    Трехфазный вакуумный насос сухого хода

  • Тип насоса
    сухой вакуумный насос
  • Скорость откачки
    6000 м3/ч
  • Предельное давление
    ≤0,5 Па
  • Тип двигателя
    Синхронный двигатель с постоянными магнитами (PMSM)
  • Номинальная мощность
    11+7,5 кВт
  • Напряжение
    380 В, трехфазный
  • Охлаждающая температура воды
    5-30 ° C.
  • Расход охлаждающей воды
    ≥11 л/мин
  • Продувочный поток N2
    43-123 л/мин
  • Входное соединение
    ISO250
  • Выходное соединение
    КФ40
  • Уровень шума
    ≤ 70 DB ((A)
  • Масса
    846 кг
  • Размеры (L × w × h)
    1076×516×988 мм
  • Интерфейс управления
    Ввод-вывод и RS485 (протокол Modbus)
  • Система уплотнений
    Манжетное уплотнение + лабиринтное уплотнение с продувкой N2
  • Место происхождения
    Китай
  • Фирменное наименование
    GRH
  • Сертификация
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Номер модели
    GRH6001
  • Количество мин заказа
    1 комплект
  • Цена
    USD 25,000-35,000 / Set
  • Упаковывая детали
    Фанерный кейс экспортного качества с вакуумной защитой от влаги и противоударной вставкой из пенопла
  • Время доставки
    15-30 рабочих дней
  • Условия оплаты
    Т/Т, Л/К, Вестерн Юнион
  • Поставка способности
    500 комплектов в месяц

GRH6001 6000 м³/ч безмасляный насос сухого хода 380В трехфазный

Сухой вакуумный насос GRH6001

GRH6001 — это сухой вакуумный насос высокой производительности 6000 м³/ч, разработанный для крупномасштабных производственных линий полупроводников и фотовольтаики. Он оснащен безмасляной камерой насоса, компактными размерами и низким энергопотреблением для требовательных высокообъемных применений.

Ключевые особенности

  • Синхронный двигатель с постоянными магнитами — обеспечивает превосходную энергоэффективность и более низкое энергопотребление по сравнению с традиционными асинхронными двигателями.
  • Усовершенствованная конструкция ротора — улучшенная способность к удалению пыли, что делает насос очень устойчивым к технологическим газам, содержащим частицы.
  • Устойчивость к пыли и водяному пару — нечувствительность к пыли и водяному пару, уносимым потоком откачиваемого газа.
  • Компактная и интегрированная конструкция — малая занимаемая площадь с высокой степенью интеграции системы для легкой установки в загруженных производственных средах.
  • Комплексная защита — встроенные функции защиты с высокой адаптивностью к изменяющимся условиям процесса.
  • Низкий уровень вибрации и шума — работает при уровне шума ≤70 дБ(А) при предельном давлении для более тихой рабочей среды.
  • Усовершенствованная система уплотнения — комбинация манжетного и лабиринтного уплотнений с продувкой азотом эффективно предотвращает обратное проникновение масла, обеспечивая высокую чистоту вакуума в камере процесса.
  • Дистанционное управление и мониторинг — поддержка интерфейса ввода-вывода и связи RS485 (протокол Modbus) для бесшовной интеграции в системы автоматизации производства.

Технические характеристики

Параметр Спецификация
Производительность откачки 6000 м³/ч
Предельное давление ≤0,5 Па
Номинальная мощность 11+7,5 кВт
Напряжение 380 В, трехфазное
Давление охлаждающей воды 0,2-0,6 МПа
Расход охлаждающей воды ≥11 л/мин
Температура охлаждающей воды 5-30 °C
Подключение охлаждающей воды G3/8
Давление продувки азотом 0,2-0,6 МПа
Расход продувки азотом 43-123 л/мин
Подключение продувки азотом G1/4
Подключение входа ISO250
Подключение выхода KF40
Уровень шума ≤70 дБ(А)
Условия эксплуатации 5~40°C; ≤80% относительной влажности
Вес 846 кг
Размеры (Д*Ш*В) 1076*516*988 мм

Технологические процессы

Чистые процессы

Загрузочный шлюз, трансфер, метрология, литография

Средние процессы

Процесс PVD, предварительная очистка PVD, RTA, травление/очистка, травление оксида, травление кремния, источник имплантации, травление металла

Агрессивные процессы

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Целевые отрасли

  • Полупроводники: Травление, ионная имплантация, CVD и другие чистые, средние и агрессивные технологические процессы.
  • Фотовольтаика: Печи для роста кристаллов, процессы производства элементов.
  • Литиевые батареи: Процессы вакуумной сушки элементов, заливки электролита и дегазации.
  • Плоскопанельные дисплеи и светодиоды: Производственные процессы, требующие высокочистых вакуумных сред.