GRH1202 — это сухой вакуумный насос производительностью 1200 м³/ч, разработанный для производственных процессов в полупроводниковой, фотовольтаической и литий-ионной аккумуляторной промышленности. Он оснащен полностью безмасляной камерой насоса, компактной конструкцией и низким энергопотреблением, обеспечивая надежную работу при низкой общей стоимости владения.
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Производительность откачки | 1200 м³/ч |
| Предельное давление | ≤0,5 Па |
| Номинальная мощность | 7,5+1,9 кВт |
| Напряжение | 380 В, трехфазное |
| Давление охлаждающей воды | 0,1–0,6 МПа |
| Расход охлаждающей воды | ≥4,7 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 5–30 °C |
| Подключение охлаждающей воды | G3/8 |
| Давление продувки азотом | 0,2–0,6 МПа |
| Расход продувки азотом | 4–96 л/мин |
| Подключение продувки азотом | G1/4 |
| Подключение входа | ISO100 |
| Подключение выхода | KF40 |
| Уровень шума | ≤70 дБ(А) |
| Условия эксплуатации | 5–40 °C; ≤80% относительной влажности |
| Вес | 220 кг |
| Размеры (Д*Ш*В) | 821*420*791 мм |
Загрузочный шлюз, транспортировка, метрология, литография
Процесс PVD, предварительная очистка PVD, RTA, травление/очистка, травление оксида, травление кремния, источник имплантации, травление металла
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD