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GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Sistema de bomba de vácuo seco 600 L/min KF40 PMSM Dispositivo de eficiência energética para revestimento de vácuo de semicondutores

  • Destacar

    Sistema de bomba de vácuo seco GRM41

    ,

    Bomba de acionamento energéticamente eficiente PMSM

    ,

    Solução de revestimento a vácuo de semicondutores

  • Modelo
    GRM41
  • Tipo
    Sistema de bomba de vácuo seco
  • Velocidade máxima de bombeamento
    600 L/min (36 m³/h)
  • Pressão Final (Lastro de Gás Aberto)
    ≤10 Pa
  • Pressão Final (Lastro de Gás Fechado)
    ≤1 Pa
  • Pressão máxima de entrada contínua
    1000 mbar
  • Pressão de escape
    ≤3000Pa
  • Potência do motor
    0,75 kW
  • Tipo de motor
    PMSM (motor síncrono de ímã permanente)
  • Fonte de energia
    200-240 V, Monofásico, 50/60 Hz
  • Corrente nominal
    2,4 A
  • Conexão de entrada
    KF40
  • Conexão de saída
    KF25
  • Conexão de lastro de gás
    PT1/4
  • Pressão de lastro de gás
    0,02-0,05 MPa
  • Capacidade máxima de vapor de água
    350 g/h
  • Nível de ruído
    ≤ 65 dB
  • Volume de óleo
    0,25 litros
  • Peso
    54 kg
  • Dimensões
    630×347×400 milímetros
  • Classe de Proteção
    IP20D
  • Interface de controle
    Monitoramento Remoto RS485
  • Temperatura ambiente
    5-40 °C
  • Lugar de origem
    Zhejiang, China
  • Marca
    OEM
  • Número do modelo
    GRM41
  • Quantidade de ordem mínima
    1 conjunto
  • Preço
    negotiable
  • Detalhes da embalagem
    Caixa de madeira compensada de exportação com inserção de espuma à prova de choque e barreira contra
  • Tempo de entrega
    15 a 30 dias úteis após confirmação do pedido
  • Termos de pagamento
    T/T
  • Habilidade da fonte
    200 conjuntos por mês

GRM41 Sistema de bomba de vácuo seco 600 L/min KF40 PMSM Dispositivo de eficiência energética para revestimento de vácuo de semicondutores

Sistema de bomba de vácuo seco GRM41

O GRM41 é um sistema de bomba de vácuo seco sem óleo de alto desempenho projetado para processos de vácuo de alta pureza na fabricação de semicondutores, produção de células fotovoltaicas,Fabricação de painéis planosEquipado com um motor PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) de eficiência energética, com uma potência de saída de 0,75 kW,Este sistema compacto atinge uma velocidade máxima de bombeamento impressionante de 600 L/min (36 m3/h) com uma pressão máxima de ≤ 1 PaA interface de monitorização remota RS485 integrada permite a integração perfeita em ambientes de produção automatizados.

Características fundamentais

  • Motor de eficiência energética PMSM:A tecnologia do motor síncrono de ímã permanente proporciona uma eficiência energética superior com um consumo de energia de 0,75 kW, reduzindo os custos operacionais e mantendo um alto desempenho.
  • Operação seca sem óleo:Não há risco de contaminação por óleo nas câmaras de processo, garantindo condições de vácuo ultralimpas essenciais para a fabricação de semicondutores e de energia fotovoltaica.
  • Alto desempenho no vácuo:Obtém uma pressão final de ≤ 1 Pa (ballast de gás fechado) e ≤ 10 Pa (ballast de gás aberto), adequada para aplicações de alto vácuo.
  • Sistema integrado de lastro de gás:A válvula de lastro de gás incorporada com ligação PT1/4 lida com vapor de água até 350 g/h, evitando a condensação e prolongando a vida útil da bomba.
  • Monitoramento remoto RS485:A interface de controle inteligente suporta a operação remota, o monitoramento de parâmetros e as capacidades de diagnóstico para a integração da Indústria 4.0.
  • Design compacto e leve:As dimensões de 630*347*400 mm e o peso de apenas 54 kg permitem uma instalação fácil em ambientes de salas limpas com espaço limitado.
  • Função de baixo ruído:Nível de ruído ≤ 65 dB com silenciador e válvula de retenção integrados, garantindo ambientes de trabalho confortáveis.
  • Construção robusta:A liga de alumínio e a caixa de ferro fundido com vedações de fluoroelastômeros (FKM) garantem fiabilidade a longo prazo e compatibilidade química.
  • Interfaces padrão KF:Conexões de entrada KF40 e de escape KF25 para montagem rápida e sem ferramentas com componentes de vácuo padrão.

Especificações técnicas

ParâmetroEspecificações
ModeloGRM41
TipoSistema de bomba de vácuo seco
Velocidade máxima de bombeamento600 L/min (36 m3/h)
Pressão final (abertura do lastro de gás)≤ 10 Pa
Pressão final (ballast de gás fechado)≤ 1 Pa
Pressão máxima contínua de entrada1000 mbar
Pressão do escape≤ 3000 Pa
Potência do motor00,75 kW
Tipo de motorPMSM (motor síncrono de ímã permanente)
Fornecimento de energia200-240V, fase única, 50/60Hz
Corrente nominal2.4 A
Conexão de entradaKF40
Conexão de tomadaKF25
Conexão de lastro de gásPT1/4
Pressão do lastro do gás0.02-0.05 MPa
Capacidade máxima de vapor de água350 g/h
Nível de ruído≤ 65 dB
Volume de óleo0.25 L
Peso54 kg
Dimensões (L*W*H)630*347*400 mm
Classe de protecçãoIP20D
Interface de controloMonitoramento remoto RS485
Temperatura ambiente5-40 °C

Aplicações típicas

  • Processamento e fabrico de placas de semicondutores
  • Fabricação de células fotovoltaicas (PVD, PECVD, gravação)
  • Display de painel plano e produção de OLED
  • Revestimento a vácuo e deposição de película fina
  • Investigação e sistemas de alto vácuo de laboratório
  • Indústria de laser e óptica
  • Bomba de apoio de instrumentos analíticos
  • Evacuação da câmara de bloqueio de carga