GRM1201 1200 M3/H ISO160 KF25 Bomba seca para semicondutores fotovoltaicos
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Bomba de vácuo a seco fotovoltaico semicondutora
,Bomba de vácuo a seco de 1200 m³/h
,Bomba de vácuo seca ISO160 KF25
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Tipo de bombabomba de vácuo seco
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Velocidade de bombeamento1200 m3/h
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Pressão Final≤0,15Pa
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Tipo de motorMotor Síncrono de Ímã Permanente (PMSM)
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Potência nominal1,9+1,9kW
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Tensão380V trifásico
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Temperatura de resfriamento da água5-30 ° C.
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Fluxo de água de resfriamento≥4 L/min
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Fluxo de purga de N212-50 L/min
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Conexão de entradaISO160
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Conexão de saídaKF25
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Nível de ruído≤63dB(A)
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Peso260 kg
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Dimensões (L × W × H)865×344×751 milímetros
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Interface de controleE/S e RS485 (protocolo Modbus)
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Sistema de vedaçãoVedação labial + vedação labirinto com purga N2
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Compatibilidade de GásGases de processo inflamáveis, explosivos e condensáveis
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Lugar de origemChina
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MarcaGRM
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CertificaçãoISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Número do modeloGRM1201
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Quantidade de ordem mínima1 conjunto
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PreçoUSD 13,000-20,000 / Set
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Detalhes da embalagemCaixa de madeira compensada de exportação com barreira contra umidade selada a vácuo e inserção de e
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Tempo de entrega15-30 dias úteis
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Termos de pagamentoT/T, L/C, Western Union
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Habilidade da fonte300 conjuntos por mês
GRM1201 1200 M3/H ISO160 KF25 Bomba seca para semicondutores fotovoltaicos
Bomba de Vácuo Seca GRM1201
A GRM1201 é uma bomba de vácuo seca de 1200 m³/h com baixo consumo de energia e alta velocidade de bombeamento para aplicações de grande volume de exaustão. Ela processa gases de processo inflamáveis, explosivos e condensáveis, projetada para processos exigentes de PECVD, MOCVD e SIC-CVD.
Principais Características
- Motor Síncrono de Ímã Permanente — Oferece eficiência energética superior com baixo consumo de energia líder na indústria.
- Estrutura Avançada do Rotor — Capacidade aprimorada de extração de poeira garante operação confiável em ambientes de processo com alta concentração de partículas.
- Tolerante a Poeira e Vapor d'Água — Insensível à poeira e ao vapor d'água arrastados no fluxo de gás bombeado.
- Design Compacto e Integrado — Pequena pegada com alta integração de sistema para fácil instalação em ambientes de fábrica lotados.
- Proteção Abrangente — Funções de proteção integradas com forte capacidade adaptativa para condições de processo variáveis.
- Baixa Vibração e Ruído — Opera a ≤63 dB(A) na pressão final para um local de trabalho mais silencioso.
- Sistema de Vedação Avançado — Selo de lábio e selo labiríntico combinados com purga de nitrogênio evitam eficazmente o retrofluxo de óleo, mantendo a alta limpeza do vácuo na câmara de processo.
- Controle e Monitoramento Remoto — Suporta interface de E/S e comunicação RS485 (protocolo Modbus) para integração perfeita em sistemas de automação de fábrica.
- Compatível com Gases Perigosos — Operação segura com gases de processo inflamáveis, explosivos e condensáveis.
Especificações Técnicas
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Velocidade de Bombeamento | 1200 m³/h |
| Pressão Final | ≤0.15 Pa |
| Potência Nominal | 1.9+1.9 kW |
| Tensão | 380V Trifásico |
| Pressão da Água de Resfriamento | 0.2-0.6 MPa |
| Vazão da Água de Resfriamento | ≥4 L/min |
| Temperatura da Água de Resfriamento | 5-30 °C |
| Conexão da Água de Resfriamento | G3/8 |
| Pressão da Purga de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Vazão da Purga de N2 | 12-50 L/min |
| Conexão da Purga de N2 | G1/4 |
| Conexão de Entrada | ISO160 |
| Conexão de Saída | KF25 |
| Nível de Ruído | ≤63 dB(A) |
| Ambiente de Operação | 5~40°C; ≤80% UR |
| Peso | 260 kg |
| Dimensões (C*L*A) | 865*344*751 mm |
Processos de Aplicação
Processos Limpos
Load-Lock, Transferência, Metrologia, Litografia
Processos Médios
Processo PVD, Pré-Limpeza PVD, RTA, Strip/Ashing, Ataque de Óxido, Ataque de Silício, Fonte de Implante, Ataque de Metal
Processos Severos
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Indústrias Alvo
- Semicondutores: Aplicações de processos limpos/médios/severos de ataque, implantação iônica, CVD, PECVD, MOCVD e SIC-CVD.
- Fotovoltaicos: Fornos de crescimento de cristal, processos de fabricação de células.
- Bateria de Lítio: Processos de secagem a vácuo de células, enchimento de eletrólitos e desgaseificação.
- Display de Tela Plana e LED: Processos de fabricação que exigem ambientes de vácuo de alta limpeza.
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