Bomba de vácuo a seco GRM4201 4200 M³/H sem óleo acionamento PMSM ISO160 KF50 para bateria de lítio HJT
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Bomba de vácuo seca sem óleo
,Bomba de vácuo a seco de 4200 m³/h
,Bomba de vácuo a seco para bateria de lítio HJT
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Tipo de bombabomba de vácuo seco
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Velocidade de bombeamento4.200 m³/h
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Pressão Final≤0,5 Pa
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Tipo de motorMotor Síncrono de Ímã Permanente (PMSM)
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Potência nominal13+10 kW
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Tensão380V trifásico
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Temperatura de resfriamento da água5-25 °C
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Fluxo de água de resfriamento8-10 L/min
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Fluxo de purga de N20-120 L/min
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Conexão de entradaISO160
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Conexão de saída50 KF
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Nível de ruído≤75 dB (a)
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Peso269 QUILOGRAMAS
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Dimensões (L × W × H)1695×600×1450 milímetros
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Interface de controleE/S e RS485 (protocolo Modbus)
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Sistema de vedaçãoVedação labial + vedação labirinto com purga N2
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Design de rolamentosSuporte de rolamento de extremidade dupla
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Modo de controlePLC inteligente com início/parada com um botão
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Lugar de origemChina
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MarcaGRM
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CertificaçãoISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
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Número do modeloGRM4201
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Quantidade de ordem mínima1 conjunto
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PreçoUSD 25,000-45,000 / Set
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Detalhes da embalagemCaixa de madeira compensada de exportação com barreira contra umidade selada a vácuo e inserção de e
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Tempo de entrega25-40 dias úteis
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Termos de pagamentoT/T, L/C, Western Union
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Habilidade da fonte100 conjuntos por mês
Bomba de vácuo a seco GRM4201 4200 M³/H sem óleo acionamento PMSM ISO160 KF50 para bateria de lítio HJT
Bomba de Vácuo a Seco GRM4201
A GRM4201 é uma bomba de vácuo a seco de alta capacidade de 4200 m³/h, alcançando níveis de vácuo excepcionais com ampla faixa de pressão de trabalho e manuseio superior de poeira. Com suporte de rolamento em ambas as extremidades, motor síncrono de ímã permanente totalmente selado e resfriado a água, e controle inteligente PLC de um botão, é ideal para fabricação de células HJT, produção de baterias de lítio e evacuação rápida de Load-Lock em semicondutores.
Principais Características
- Motor síncrono de ímã permanente totalmente selado e resfriado a água com acionamento VFD maximiza a saída de torque para processos exigentes, eliminando o risco de vazamento de óleo.
- Design exclusivo de rotor fabricado em equipamentos avançados com excelente precisão geométrica, totalmente intercambiável para baixo ruído e vida útil prolongada.
- Tolerante a Poeira e Vapor d'Água — Insensível à poeira e ao vapor d'água arrastados no fluxo de gás bombeado.
- Design Compacto e Integrado — Pequena pegada com alta integração de sistema para fácil instalação em ambientes de fábrica lotados.
- Proteção Abrangente — Funções de proteção integradas com forte capacidade adaptativa para diversas condições de processo.
- Baixa Vibração e Ruído — Opera a ≤75 dB(A) na pressão final para um local de trabalho mais silencioso.
- Sistema de Vedação Avançado — Vedação de lábio avançada com barreira de óleo labiríntica fornece desempenho de vedação superior e vida útil prolongada. Combinado com purga de gás nitrogênio, evita a contaminação do reservatório de óleo por mídia de processo, alcançando um ambiente de vácuo completamente isento de óleo.
- Controle e Monitoramento Remoto — Suporta interface de E/S e comunicação RS485 (protocolo Modbus) para integração perfeita em sistemas de automação de fábrica.
- Design de Suporte de Rolamento em Ambas as Extremidades — Fornece suporte confiável ao rotor, vibração extremamente baixa e confiabilidade superior na partida, tornando-o ideal para condições de processo severas.
- Motor Totalmente Selado e Resfriado a Água — PMSM de alta eficiência com acionamento VFD maximiza a saída de torque. O design do motor totalmente selado elimina o risco de vazamento de óleo, aumentando a confiabilidade operacional e prolongando a vida útil.
- Sistema de Controle PLC Inteligente — A programação inteligente permite partida/parada com um botão. Suporta interface de E/S externa e comunicação RS485 (protocolo Modbus-RTU) para integração de controle e monitoramento remoto.
Especificações Técnicas
| Parâmetro | Especificação |
|---|---|
| Velocidade de Bombeamento | 4200 m³/h |
| Pressão Final | ≤0,5 Pa |
| Potência Nominal | 13+10 kW |
| Tensão | 380V Trifásico |
| Pressão da Água de Resfriamento | 0,2-0,5 MPa |
| Vazão da Água de Resfriamento | 8-10 L/min |
| Temperatura da Água de Resfriamento | 5-25 °C |
| Conexão da Água de Resfriamento | G3/8 |
| Pressão de Purga de N2 | 0,1-0,7 MPa |
| Vazão de Purga de N2 | 0-120 L/min |
| Conexão de Purga de N2 | G1/4 |
| Conexão de Entrada | ISO160 |
| Conexão de Saída | KF50 |
| Nível de Ruído | ≤75 dB(A) |
| Ambiente de Operação | 5~40°C; ≤80% UR |
| Peso | 269 kg |
| Dimensões (C*L*A) | 1695*600*1450 mm |
Processos de Aplicação
Processos Limpos
Load-Lock, Transferência, Metrologia, Litografia
Processos Médios
Processo PVD, Pré-Limpeza PVD, RTA, Strip/Ashing, Ataque de Óxido, Ataque de Silício, Fonte de Implante, Ataque de Metal
Processos Severos
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Indústrias Alvo
- Célula Solar de Heterojunção (HJT): Requisitos de vácuo do processo PECVD.
- Industrial de Baterias de Lítio: Secagem a vácuo em larga escala e processamento de eletrólitos.
- Semicondutor: Evacuação rápida de Load-Lock e preparação de câmaras de processo.
- Revestimento a Vácuo: Aplicações de load-lock em sistemas de revestimento PVD/CVD industrial.
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