Bơm chân không phân tử turbo bôi trơn bằng mỡ DFFZ250/2000
TÍNH NĂNG
1. Bôi trơn bằng mỡ
2. Làm mát bằng không khí/nước
3. Lắp đặt ở mọi góc độ
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
Model | FFZ250/2000 | ||
Mặt bích đầu vào | - | LF250 | CF250 |
Mặt bích đầu ra | - | KF40 | |
Tốc độ bơm | L/s | 2000 | |
Tỷ lệ nén N2/H2 | - | 108 / 104 | |
Áp suất giới hạn | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
Tốc độ quay | rpm | 24000 | |
Thời gian khởi động | phút | ≤6 | |
Độ rung | μm | ≤0.1 | |
Tốc độ bơm sơ cấp | L/s | 2 | |
Nhiệt độ nước làm mát | ≤20 | ||
Lưu lượng nước làm mát | L/s | 1 | |
Công suất tối đa | kW | 750 | |
Điện áp bộ gia nhiệt | V | AC220 | |
Hướng lắp đặt | - | Mọi góc độ | |
Khối lượng | kg | 32/35 |
Đường cong bơm
Bản vẽ bơm
Ứng dụng
Ứng dụng của Bơm Phân Tử trong Các Ngành Công Nghiệp Khác Nhau
Bơm phân tử là bơm chân không cao được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp yêu cầu môi trường chân không cao hoặc siêu cao sạch, không dầu. Các lĩnh vực ứng dụng chính của chúng bao gồm:
Sản xuất chất bán dẫn và mạch tích hợp
Được sử dụng trong các quy trình chế tạo chip như in thạch bản, khắc, cấy ion và lắng đọng màng mỏng (CVD, PVD)
Đảm bảo hoạt động không dầu để ngăn ngừa ô nhiễm tấm wafer
Thiết bị chính: Hệ thống in thạch bản chùm electron, máy khắc plasma, hệ thống MBE