Turbomolekularna pompa próżniowa smarowana smarem DFFZ250/2000
CECHY
1. Smarowana smarem
2. Chłodzona powietrzem/wodą
3. Instalacja pod dowolnym kątem
PARAMETR TECHNICZNY
Model | FFZ250/2000 | ||
Kołnierz wlotowy | - | LF250 | CF250 |
Kołnierz wylotowy | - | KF40 | |
Szybkość pompowania | L/s | 2000 | |
Współczynnik sprężania N2/H2 | - | 108 / 104 | |
Ciśnienie graniczne | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
Prędkość obrotowa | obr/min | 24000 | |
Czas rozruchu | min | ≤6 | |
Wibracje | μm | ≤0.1 | |
Szybkość pompy wstępnej | L/s | 2 | |
Temperatura wody chłodzącej | ≤20 | ||
Przepływ wody chłodzącej | L/s | 1 | |
Maksymalna moc | kW | 750 | |
Napięcie grzałki | V | AC220 | |
Kierunek instalacji | - | Dowolny kąt | |
Waga | kg | 32/35 |
Krzywa pompowania
Rysunek pompy
Zastosowania
Zastosowania pomp molekularnych w różnych gałęziach przemysłu
Pompy molekularne to pompy wysokiej próżni szeroko stosowane w przemyśle wymagającym czystego, bezolejowego środowiska wysokiej lub ultrawysokiej próżni. Ich główne obszary zastosowań obejmują:
Produkcję półprzewodników i układów scalonych
Stosowane w procesach produkcji chipów, takich jak litografia, wytrawianie, implantacja jonów i osadzanie cienkich warstw (CVD, PVD)
Zapewnia bezolejową pracę, aby zapobiec zanieczyszczeniu płytek
Kluczowe urządzenia: systemy litografii wiązką elektronów, wytrawiacze plazmowe, systemy MBE