FFZ160/700 ปั๊มสุญญากาศโมเลกุล
ข้อได้เปรียบหลัก:
1. การทำงานแบบปราศจากน้ำมันช่วยป้องกันการปนเปื้อน
2. อัตราการสูบที่สูงสำหรับก๊าซเบา
3. ช่วงความดันในการทำงานที่กว้าง
4. ช่วยให้เกิดสภาวะสุญญากาศสูงพิเศษ
ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยียังคงขยายการประยุกต์ใช้ปั๊มโมเลกุลผ่านการย่อขนาดและความสามารถในการตรวจสอบอัจฉริยะ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
รุ่น | CF160/LF160 | ||
หน้าแปลนทางเข้า | - | LF160 | CF160 |
หน้าแปลนทางออก | - | KF40 | |
อัตราการสูบ | L/s | N2:700 | |
อัตราส่วนการอัด N2/H2 | - | N2:10*3 | |
ความดันสูงสุด | Pa | 6×10-7 | 6×10-8 |
ความเร็วในการหมุน | รอบต่อนาที | 36000 | |
เวลาในการเดินเครื่อง | นาที | ≤5 | |
การสั่นสะเทือน | μm | ≤0.15 | |
ความเร็วปั๊มสุญญากาศเบื้องต้น | L/s | 4-8 | |
อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | ≤25 | ||
การไหลของน้ำหล่อเย็น | L/min | ≥1 | |
กำลังไฟของเครื่องทำความร้อน | วัตต์ | ≤100 | |
แรงดันไฟฟ้าของเครื่องทำความร้อน | โวลต์ | 220 | |
ทิศทางการติดตั้ง | - | ทุกมุม | |
น้ำหนัก | กก. | CF20/LF19 |
แบบร่างปั๊ม
การประยุกต์ใช้
การผลิตจอแสดงผลแบบแบนและเซลล์แสงอาทิตย์
ใช้ในการระเหยสุญญากาศและการสปัตเตอร์สำหรับแผง OLED/LCD
ใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ฟิล์มบาง
รักษาสุญญากาศสูงเพื่อความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์ของฟิล์ม
การวิจัยทางวิทยาศาสตร์และห้องปฏิบัติการ
จำเป็นสำหรับฟิสิกส์พลังงานสูง (เครื่องเร่งอนุภาค)
ใช้ในวิทยาศาสตร์พื้นผิว (STM, XPS)
มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการทดลองฟิวชันนิวเคลียร์
บรรลุสุญญากาศสูงพิเศษ (<10^-10 mbar)
การบินและอวกาศและการจำลองอวกาศ
ใช้ในการทดสอบสุญญากาศความร้อนสำหรับยานอวกาศ
ใช้ในห้องทดสอบเครื่องยนต์จรวด
จำลองสภาวะสุญญากาศคล้ายอวกาศ (<10^-6 Pa)
อุตสาหกรรมออปติกและการเคลือบผิว
ช่วยให้การเคลือบสุญญากาศสำหรับส่วนประกอบทางแสง
ใช้ในการเคลือบกระจกโทรทรรศน์ขนาดใหญ่
ป้องกันการปนเปื้อนของไอระเหยของน้ำมัน
เครื่องมือวิเคราะห์
ใช้ในเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวล (GC-MS, ICP-MS)
จำเป็นสำหรับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM, TEM)
ให้สุญญากาศที่สะอาดสำหรับการวิเคราะห์ที่ละเอียดอ่อน
การแพทย์และเทคโนโลยีชีวภาพ
ใช้ในระบบการรักษาด้วยโปรตอน
ใช้ในเครื่องเร่งความเร็วทางการแพทย์
ต้องการความน่าเชื่อถือและความเสถียรสูง
การเคลือบผิวและบรรจุภัณฑ์อุตสาหกรรม
ช่วยให้การเคลือบผิวแข็งสำหรับเครื่องมือ
ใช้ในบรรจุภัณฑ์อาหาร/เภสัชกรรม
เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมมากกว่าปั๊มน้ำมัน
พลังงานใหม่และวิทยาศาสตร์วัสดุ
ใช้ในการประมวลผลวัสดุแบตเตอรี่
ใช้ในการเตรียมวัสดุตัวนำยิ่งยวด
จำเป็นสำหรับการวิจัยวัสดุขั้นสูง
สาขาเฉพาะทางอื่นๆ
การประยุกต์ใช้อุตสาหกรรมนิวเคลียร์
กระบวนการโลหะวิทยาแบบสุญญากาศ
การผลิตไฮเทคต่างๆ