ปั๊มสุญญากาศเทอร์โบโมเลกุลหล่อลื่นด้วยจาระบี DFFZ250/2000
คุณสมบัติ
1. หล่อลื่นด้วยจาระบี
2. ระบายความร้อนด้วยอากาศ/น้ำ
3. ติดตั้งได้ทุกมุม
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
รุ่น | FFZ250/2000 | ||
หน้าแปลนทางเข้า | - | LF250 | CF250 |
หน้าแปลนทางออก | - | KF40 | |
อัตราการสูบ | ลิตร/วินาที | 2000 | |
อัตราส่วนการอัด N2/H2 | - | 108 / 104 | |
แรงดันสูงสุด | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
ความเร็วรอบ | รอบต่อนาที | 24000 | |
เวลาในการสตาร์ท | นาที | ≤6 | |
การสั่นสะเทือน | μm | ≤0.1 | |
ความเร็วปั๊มสุญญากาศเบื้องต้น | ลิตร/วินาที | 2 | |
อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | ≤20 | ||
อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น | ลิตร/วินาที | 1 | |
กำลังไฟสูงสุด | กิโลวัตต์ | 750 | |
แรงดันไฟฟ้าของฮีตเตอร์ | โวลต์ | AC220 | |
ทิศทางการติดตั้ง | - | ทุกมุม | |
น้ำหนัก | กก. | 32/35 |
กราฟการสูบ
แบบปั๊ม
การใช้งาน
การใช้งานของปั๊มโมเลกุลในอุตสาหกรรมต่างๆ
ปั๊มโมเลกุลเป็นปั๊มสุญญากาศสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงหรือสุญญากาศยิ่งยวดที่สะอาดและปราศจากน้ำมัน พื้นที่การใช้งานหลัก ได้แก่:
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวม
ใช้ในกระบวนการผลิตชิป เช่น การพิมพ์หิน การกัด การปลูกถ่ายไอออน และการสะสมฟิล์มบาง (CVD, PVD)
รับประกันการทำงานที่ปราศจากน้ำมันเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์
อุปกรณ์สำคัญ: ระบบการพิมพ์หินด้วยลำแสงอิเล็กตรอน, เครื่องกัดพลาสมา, ระบบ MBE