BAOSI真空水冷却 オイル潤滑分子真空ポンプ
技術パラメータ
|
モデル |
|
DFFY 400/4500PM |
|
|
入り口フレンズ |
- |
LF400 |
|
|
出口フレンズ |
- |
KF40 |
|
|
ポンプ速度 |
L/s |
N2:4500 |
|
|
圧縮比 N2 |
- |
1×108 |
|
|
究極の圧力 |
パパ |
5×10-6 |
|
|
回転速度 |
rpm |
21000 |
|
|
実行時間 |
ミニ |
<18 |
|
|
オイル |
ミリ |
200 |
|
|
前真空ポンプの速度 |
L/s |
30 |
|
|
冷却水温 |
°C |
≤25 |
|
|
冷却水流量 |
L/s |
1 |
|
|
暖房の電力 |
W |
≤1200 |
|
|
熱器の電圧 |
V |
220 |
|
|
設置方向 |
- |
どれか |
|
|
体重 |
体重 |
85 |
|
外部図:
![]()
クーバーをポンプする
![]()
設置環境の要件:
1ポンプボディ表面の電磁場強度は3mT (30Gs) を超えてはならない.
2分子ポンプは105ラッドの放射線に耐える
3環境温度は5~40°C
4比較的湿度: ≤85%
5電圧: 220±22V 周波数: 50±1Hz
6高さ: ≤3000m
適用:
油潤滑ターボ分子ポンプは,以下の主要産業で広く使用されています.
半導体とマイクロ電子
◎真空コーティング (PVD/CVD)
科学研究と実験室分析
熱処理と金属工学
電子光学とレーザー製造
リチウム電池と新しいエネルギー材料の加工
分析機器
航空宇宙・航空の真空試験