FFZ160/700分子真空ポンプ
主要 な 利点:
1油のない操作は汚染を防ぐ
2 軽気体の高ポンプ速度
3. 広範囲の動作圧力
4 超高真空条件を可能にします
テクノロジーの進歩により 微型化やスマートモニタリングの機能によって 分子ポンプの応用が拡大しています
技術パラメータ
モデル | CF160/LF160 | ||
入り口フレンズ | - | LF160 | CF160 |
出口フレンズ | - | KF40 | |
ポンプ速度 | L/s | N2 について700 | |
圧縮比 N2/H2 | - | N2:10*3 | |
究極の圧力 | パパ | 6×10-7 | 6×10-8 |
回転速度 | rpm | 36000 | |
実行時間 | ミニ | ≤5 | |
振動 | μm | ≤0.15 | |
前真空ポンプの速度 | L/s | 4から8 | |
冷却水温 | ≤25 | ||
冷却水流量 | L/分 | ≥1 | |
暖房の電力 | W | ≤100 | |
熱器の電圧 | V | 220 | |
設置方向 | - | どんな角度でも | |
体重 | 体重 | CF20/LF19 |
パンプの描画
適用する
平面ディスプレイと太陽電池製造
OLED/LCDパネルの真空蒸発とスプッターに使用される
薄膜太陽電池の製造に使用される
フィルムの均一性と純度のために高真空を維持
科学研究と研究室
高エネルギー物理学 (粒子加速器) に不可欠
表面科学 (STM,XPS) で使用
核融合実験にとって重要な
超高真空 (<10^-10 mbar) を達成する
航空宇宙と宇宙シミュレーション
宇宙船の熱真空試験に使用される
ロケットエンジンの試験室で使用される
空間のような真空状態をシミュレートする (<10^-6 Pa)
オプティクスとコーティング産業
光学部品の真空コーティングを有効にする
大型望遠鏡の鏡のコーティングに使用される
油蒸気汚染を防ぐ
分析器具
質量スペクトロメーター (GC-MS,ICP-MS) で使用される
電子顕微鏡 (SEM,TEM) に不可欠
敏感な分析のためのクリーン真空を提供します
医療・バイオテクノロジー
陽子療法システムで使用される
医療用加速器に用いられる
高度な信頼性と安定性が必要です
工業用コーティングとパッケージング
ツールに硬いコーティングを可能にします
食品/医薬品の包装に使用される
オイルポンプより環境に優しい
新しいエネルギーと材料科学
電池材料の加工に使用される
超伝導材料の調製に使用される
先進的な材料研究に不可欠
他 の 専門 分野
原子力産業の応用
真空金属工法
各種ハイテク製造業