वसा युक्त टर्बो आणविक वैक्यूम पंप DFFZ250/2000
विशेषताएं
1. वसा चिकनाई
2हवा से ठंडा/पानी से ठंडा
3. किसी भी कोण पर स्थापना
तकनीकी पैरामीटर
मॉडल | FFZ250/2000 | ||
इनलेट फ्लैंज | - | LF250 | CF250 |
आउटलेट फ्लैंज | - | KF40 | |
पंप की गति | L/s | 2000 | |
संपीड़न अनुपात N2/H2 | - | 108/ 104 | |
अंतिम दबाव | पिताजी | 6×10-7 | 6×10-6 |
घूर्णन गति | आरपीएम | 24000 | |
चलाने का समय | मिन | ≤6 | |
कंपन | μm | ≤0.1 | |
पूर्व-शून्य पंप की गति | L/s | 2 | |
शीतलन जल का तापमान | ≤20 | ||
शीतलन जल प्रवाह | L/s | 1 | |
अधिकतम शक्ति | किलोवाट | 750 | |
हीटर वोल्टेज | वी | AC220 | |
स्थापना दिशा | - | कोई भी कोण | |
वजन | किलो | 32/35 |
पंपिंग वक्र
पंप ड्राइंग
आवेदन
विभिन्न उद्योगों में आणविक पंपों के अनुप्रयोग
आणविक पंप उच्च वैक्यूम पंप हैं जिनका व्यापक रूप से स्वच्छ, तेल मुक्त उच्च वैक्यूम या अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम वातावरण की आवश्यकता वाले उद्योगों में उपयोग किया जाता है। उनके मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रों में शामिल हैंः
अर्धचालक और एकीकृत सर्किट विनिर्माण
चिप निर्माण प्रक्रियाओं जैसे कि लिथोग्राफी, उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण और पतली फिल्म जमाव (सीवीडी, पीवीडी) में उपयोग किया जाता है
वाफर्स के संदूषण को रोकने के लिए तेल मुक्त संचालन सुनिश्चित करता है
प्रमुख उपकरण: इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी प्रणाली, प्लाज्मा एचर, एमबीई प्रणाली