Yağlı turbo moleküler vakum pompası DFFZ250/2000
Özellikler
1. Yağ yağlanmış
2. Hava soğutmalı/su soğutmalı
3Herhangi bir açıdan kurulum
Teknik parametreler
Model | FFZ250/2000 | ||
Giriş flensleri | - | LF250 | CF250 |
Çıkış flensleri | - | KF40 | |
Pompalama hızı | L/s | 2000 | |
Sıkıştırma oranı N2/H2 | - | 108/ 104 | |
En yüksek basınç | Baba. | 6×10- 7 | 6×10-6 |
Dönüş hızı | rpm | 24000 | |
Çıkış süresi | dakikası | ≤ 6 | |
titreşim | μm | ≤0.1 | |
Ön vakum pompası hızı | L/s | 2 | |
Soğutma suyunun sıcaklığı | ≤20 | ||
Soğutma suyu akışı | L/s | 1 | |
Maksimum güç | kW | 750 | |
Isıtma voltajı | V | AC220 | |
Kurulum yönü | - | Herhangi bir açıdan. | |
Ağırlık | Kilo | 32/35 |
Pompalama eğrisi
Pompa çizimi
Başvurular
Çeşitli Endüstrilerde Moleküler Pompaların Uygulamaları
Moleküler pompalar, temiz, yağsız yüksek vakum veya ultra yüksek vakum ortamları gerektiren endüstrilerde yaygın olarak kullanılan yüksek vakum pompalarıdır.
Yarım iletken ve entegre devre imalatı
Litografi, kazım, iyon implantasyonu ve ince film çökmesi (CVD, PVD) gibi çip üretim süreçlerinde kullanılır
Wafer kirliliğini önlemek için yağsız çalışmayı sağlar
Temel ekipman: Elektron ışını litografi sistemleri, plazma kazıcılar, MBE sistemleri