logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
Grease Lubricated High Turbo Molecular Vacuum Pump FFZ2500/2000 Molecular Turbo Pump

Yağ yağlanmış yüksek turbo moleküler vakum pompası FFZ2500/2000 moleküler turbo pompası

  • Vurgulamak

    Yağ Yağlanmış turbomoleküler vakum pompası

    ,

    Yağ yağlanmış moleküler turbo pompası

    ,

    Turbo moleküler vakum pompası FFZ2500/2000

  • Soğutma yöntemi
    Su Soğutma/Hava Soğutma
  • Pompalama Hızı
    2000 L/S
  • Ultimatre basıncı
    LF ≤ 6E-6 PA
  • Nihai Basınç
    CF ≤ 6E-7 PA
  • Forevacuum
    15 L/S
  • Belirli Hız
    24000
  • Menşe yeri
    Çin
  • Marka adı
    KACO
  • Model numarası
    FFZ2500/2000
  • Min sipariş miktarı
    1 set
  • Fiyat
    $2800-$3490
  • Ambalaj bilgileri
    Ahşap kutu
  • Teslim süresi
    7 iş günü
  • Ödeme koşulları
    T/T
  • Yetenek temini
    ayda 500 birim

Yağ yağlanmış yüksek turbo moleküler vakum pompası FFZ2500/2000 moleküler turbo pompası

Yağlı turbo moleküler vakum pompası DFFZ250/2000

 

 

Özellikler

 

1. Yağ yağlanmış

2. Hava soğutmalı/su soğutmalı

3Herhangi bir açıdan kurulum

 


 

Teknik parametreler

 

Model   FFZ250/2000
Giriş flensleri - LF250 CF250
Çıkış flensleri - KF40
Pompalama hızı L/s 2000
Sıkıştırma oranı N2/H2 - 108/ 104
En yüksek basınç Baba. 6×10- 7 6×10-6
Dönüş hızı rpm 24000
Çıkış süresi dakikası ≤ 6
titreşim μm ≤0.1
Ön vakum pompası hızı L/s 2
Soğutma suyunun sıcaklığı   ≤20
Soğutma suyu akışı L/s 1
Maksimum güç kW 750
Isıtma voltajı V AC220
Kurulum yönü - Herhangi bir açıdan.
Ağırlık Kilo 32/35

 

 

Pompalama eğrisi

 

Yağ yağlanmış yüksek turbo moleküler vakum pompası FFZ2500/2000 moleküler turbo pompası 0

 

Pompa çizimi

 

Yağ yağlanmış yüksek turbo moleküler vakum pompası FFZ2500/2000 moleküler turbo pompası 1

 

Başvurular

 

Çeşitli Endüstrilerde Moleküler Pompaların Uygulamaları

Moleküler pompalar, temiz, yağsız yüksek vakum veya ultra yüksek vakum ortamları gerektiren endüstrilerde yaygın olarak kullanılan yüksek vakum pompalarıdır.

 

  1. Yarım iletken ve entegre devre imalatı

    • Litografi, kazım, iyon implantasyonu ve ince film çökmesi (CVD, PVD) gibi çip üretim süreçlerinde kullanılır

    • Wafer kirliliğini önlemek için yağsız çalışmayı sağlar

    • Temel ekipman: Elektron ışını litografi sistemleri, plazma kazıcılar, MBE sistemleri