Puma de vacío turbo molecular lubricada con grasa DFFZ250/2000
Características
1. Grasa lubricada
2. refrigerado por aire/resfriado por agua
3Instalación en cualquier ángulo
Parámetro técnico
| Modelo | FFZ250/2000 | ||
| Freno de entrada | - | El LF250 | CF250 |
| Freno de salida | - | KF40 | |
| Velocidad de bombeo | L/s | 2000 | |
| Relación de compresión N2/H2 | - | 108/ 104 | |
| Presión máxima | ¿ Qué pasa? | 6x10-7 años | 6x10-6 años |
| velocidad de rotación | rpm | 24000 | |
| Tiempo de ejecución | Min | ≤ 6 años | |
| Vibración | Mm | ≤ 01 | |
| Velocidad de la bomba de vacío previo | L/s | 2 | |
| Temperatura del agua de enfriamiento | ≤ 20 años | ||
| Flujo de agua de refrigeración | L/s | 1 | |
| Potencia máxima | En kW | 750 | |
| Voltado del calentador | V. | Accesorios para el transporte aéreo | |
| Dirección de instalación | - | Cualquier ángulo | |
| Peso | En kg | 32/35 | |
Curva de bombeo
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Dibujo de la bomba
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Aplicaciones
Aplicaciones de las bombas moleculares en diversas industrias
Las bombas moleculares son bombas de alto vacío ampliamente utilizadas en industrias que requieren ambientes de alto vacío o ultravacío limpios y libres de aceite.
Fabricación de semiconductores y circuitos integrados
Se utiliza en procesos de fabricación de chips como litografía, grabado, implantación de iones y deposición de películas finas (CVD, PVD)
Asegura el funcionamiento sin aceite para evitar la contaminación de las obleas
Equipo clave: sistemas de litografía por haz de electrones, grabadoras de plasma, sistemas MBE