Puma de vacío turbo molecular lubricada con grasa DFFZ250/2000
Características
1. Grasa lubricada
2. refrigerado por aire/resfriado por agua
3Instalación en cualquier ángulo
Parámetro técnico
Modelo | FFZ250/2000 | ||
Freno de entrada | - | El LF250 | CF250 |
Freno de salida | - | KF40 | |
Velocidad de bombeo | L/s | 2000 | |
Relación de compresión N2/H2 | - | 108/ 104 | |
Presión máxima | ¿ Qué pasa? | 6x10-7 años | 6x10-6 años |
velocidad de rotación | rpm | 24000 | |
Tiempo de ejecución | Min | ≤ 6 años | |
Vibración | Mm | ≤ 01 | |
Velocidad de la bomba de vacío previo | L/s | 2 | |
Temperatura del agua de enfriamiento | ≤ 20 años | ||
Flujo de agua de refrigeración | L/s | 1 | |
Potencia máxima | En kW | 750 | |
Voltado del calentador | V. | Accesorios para el transporte aéreo | |
Dirección de instalación | - | Cualquier ángulo | |
Peso | En kg | 32/35 |
Curva de bombeo
Dibujo de la bomba
Aplicaciones
Aplicaciones de las bombas moleculares en diversas industrias
Las bombas moleculares son bombas de alto vacío ampliamente utilizadas en industrias que requieren ambientes de alto vacío o ultravacío limpios y libres de aceite.
Fabricación de semiconductores y circuitos integrados
Se utiliza en procesos de fabricación de chips como litografía, grabado, implantación de iones y deposición de películas finas (CVD, PVD)
Asegura el funcionamiento sin aceite para evitar la contaminación de las obleas
Equipo clave: sistemas de litografía por haz de electrones, grabadoras de plasma, sistemas MBE