Высокоскоростной турбомолекулярный вакуумный насос FFZ2500/2000 с пластичной смазкой
-
Выделить
Турбомолекулярный вакуумный насос с пластичной смазкой
,Молекулярный турбонасос с пластичной смазкой
,Турбомолекулярный вакуумный насос FFZ2500/2000
-
Способ охлажденияВодное охлаждение/воздушное охлаждение
-
Скорость откачки2000 л/с
-
Давление ультиматраLF ≤ 6E-6 Pa
-
Окончательное давлениеCF ≤ 6E-7 Pa
-
Предвакуум15 л/с
-
Номинальная скорость24000
-
Место происхожденияКитай
-
Фирменное наименованиеKACO
-
Номер моделиFFZ2500/2000
-
Количество мин заказа1 SET
-
Цена$2800-$3490
-
Упаковывая деталиДеревянный ящик
-
Время доставки7 рабочих дней
-
Условия оплатыT/T
-
Поставка способности500 единиц в месяц
Высокоскоростной турбомолекулярный вакуумный насос FFZ2500/2000 с пластичной смазкой
Турбомолекулярный вакуумный насос с пластичной смазкой DFFZ250/2000
ОСОБЕННОСТИ
1. Смазка пластичной смазкой
2. Воздушное/водяное охлаждение
3. Установка под любым углом
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
| Модель | FFZ250/2000 | ||
| Входной фланец | - | LF250 | CF250 |
| Выходной фланец | - | KF40 | |
| Скорость откачки | л/с | 2000 | |
| Коэффициент сжатия N2/H2 | - | 108 / 104 | |
| Предельное давление | Па | 6×10-7 | 6×10-6 |
| Скорость вращения | об/мин | 24000 | |
| Время выхода на режим | мин | ≤6 | |
| Вибрация | μм | ≤0.1 | |
| Скорость форвакуумного насоса | л/с | 2 | |
| Температура охлаждающей воды | ≤20 | ||
| Расход охлаждающей воды | л/с | 1 | |
| Максимальная мощность | кВт | 750 | |
| Напряжение нагревателя | В | AC220 | |
| Направление установки | - | Любой угол | |
| Вес | кг | 32/35 | |
Кривая откачки
Чертеж насоса
Применения
Применение молекулярных насосов в различных отраслях промышленности
Молекулярные насосы - это вакуумные насосы высокого вакуума, широко используемые в отраслях, требующих чистой, безмасляной среды высокого или сверхвысокого вакуума. Основные области их применения включают:
-
Производство полупроводников и интегральных схем
-
Используются в процессах изготовления микросхем, таких как литография, травление, ионная имплантация и осаждение тонких пленок (CVD, PVD)
-
Обеспечивает работу без масла для предотвращения загрязнения пластин
-
Основное оборудование: системы электронно-лучевой литографии, плазменные травители, системы MBE
-
Наши продукты продаются по всему миру, поэтому вы можете быть уверены в том, что производятся наши продукты в целом.