Bomba de vácuo turbomolecular lubrificada com graxa DFFZ250/2000
CARACTERÍSTICAS
1. Lubrificada com graxa
2. Arrefecimento a ar/água
3. Instalação em qualquer ângulo
PARÂMETRO TÉCNICO
Modelo | FFZ250/2000 | ||
Flange de entrada | - | LF250 | CF250 |
Flange de saída | - | KF40 | |
Velocidade de bombeamento | L/s | 2000 | |
Relação de compressão N2/H2 | - | 108 / 104 | |
Pressão final | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
Velocidade de rotação | rpm | 24000 | |
Tempo de aceleração | min | ≤6 | |
Vibração | μm | ≤0.1 | |
Velocidade da bomba de pré-vácuo | L/s | 2 | |
Temperatura da água de arrefecimento | ≤20 | ||
Vazão da água de arrefecimento | L/s | 1 | |
Potência máxima | kW | 750 | |
Tensão do aquecedor | V | AC220 | |
Direção de instalação | - | Qualquer ângulo | |
Peso | kg | 32/35 |
Curva de bombeamento
Desenho da bomba
Aplicações
Aplicações de Bombas Moleculares em Várias Indústrias
As bombas moleculares são bombas de alto vácuo amplamente utilizadas em indústrias que exigem ambientes limpos, livres de óleo, de alto vácuo ou ultra-alto vácuo. Suas principais áreas de aplicação incluem:
Fabricação de Semicondutores e Circuitos Integrados
Usadas em processos de fabricação de chips como litografia, gravação, implantação iônica e deposição de filmes finos (CVD, PVD)
Garante operação livre de óleo para evitar a contaminação da pastilha
Equipamentos chave: Sistemas de litografia por feixe de elétrons, gravadores de plasma, sistemas MBE