پمپ خلاء مولکولی توربو روغن دار DFFZ250/2000
ویژگی ها
1. روغن روغن شده
2خنک کننده هوا/آب
3. نصب در هر زاویه ای
پارامتر فنی
مدل | FFZ250/2000 | ||
فلنج ورودی | - | LF250 | CF250 |
فلنج خروجی | - | KF40 | |
سرعت پمپ کردن | L/s | 2000 | |
نسبت فشرده سازی N2/H2 | - | 108/ 104 | |
فشار نهایی | بابا | 6×10-7 | 6×10-6 |
سرعت چرخش | rpm | 24000 | |
زمان اجرا | دقیقه | ≤6 | |
ارتعاش | μm | ≤0.1 | |
سرعت پمپ پیش خلاء | L/s | 2 | |
دمای آب خنک کننده | ≤20 | ||
جریان آب خنک کننده | L/s | 1 | |
حداکثر قدرت | kW | 750 | |
ولتاژ بخاری | V | AC220 | |
جهت نصب | - | هر زاويه اي | |
وزن | کیلوگرم | 32/35 |
منحنی پمپ
نقشه پمپ
درخواست ها
کاربرد پمپ های مولکولی در صنایع مختلف
پمپ های مولکولی پمپ های با خلاء بالا هستند که به طور گسترده در صنایع مورد استفاده قرار می گیرند که نیاز به محیط های با خلاء بالا و یا بسیار بالا و بدون روغن دارند. زمینه های اصلی کاربرد آنها عبارتند از:
تولید نیمه هادی و مدارهای یکپارچه
استفاده می شود در فرآیندهای ساخت تراشه مانند لیتوگرافی، حکاکی، کاشت یون، و سپرده گذاری فیلم نازک (CVD، PVD)
اطمینان از کار بدون روغن برای جلوگیری از آلودگی وافره
تجهیزات کلیدی: سیستم های لیتوگرافی پرتو الکترون، دستگاه های نقاشی پلاسما، سیستم های MBE