-
강조하다
그리스 윤활 터보분자 진공 펌프
,그리스 윤활 분자 터보 펌프
,터보 분자 진공 펌프 FFZ2500/2000
-
냉각 방법물 냉각 / 공기 냉각법
-
펌프의 배기속도2000 L/s
-
최후 통첩 압력LF ≤ 6E-6 PA
-
한계 압력CF ≤ 6E-7 PA
-
선구자15 l/s
-
가속도24000
-
원래 장소중국
-
브랜드 이름KACO
-
모델 번호FFZ2500/2000
-
최소 주문 수량1 세트
-
가격$2800-$3490
-
포장 세부 사항나무 상자
-
배달 시간7 일
-
지불 조건T/T
-
공급 능력달 당 500 유닛
그리스 윤활 고성능 터보 분자 진공 펌프 FFZ2500/2000
그리스 윤활 터보 분자 진공 펌프 DFFZ250/2000
특징
1. 그리스 윤활
2. 공랭식/수랭식
3. 모든 각도에서 설치 가능
기술 파라미터
| 모델 | FFZ250/2000 | ||
| 입구 플랜지 | - | LF250 | CF250 |
| 출구 플랜지 | - | KF40 | |
| 배기 속도 | L/s | 2000 | |
| 압축비 N2/H2 | - | 108 / 104 | |
| 최고 진공도 | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
| 회전 속도 | rpm | 24000 | |
| 기동 시간 | 분 | ≤6 | |
| 진동 | μm | ≤0.1 | |
| 예비 진공 펌프 속도 | L/s | 2 | |
| 냉각수 온도 | ≤20 | ||
| 냉각수 유량 | L/s | 1 | |
| 최대 전력 | kW | 750 | |
| 히터 전압 | V | AC220 | |
| 설치 방향 | - | 모든 각도 | |
| 무게 | kg | 32/35 | |
배기 곡선
펌프 도면
응용 분야
다양한 산업 분야에서 분자 펌프의 응용
분자 펌프는 깨끗하고 오일이 없는 고진공 또는 초고진공 환경이 필요한 산업 분야에서 널리 사용되는 고진공 펌프입니다. 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.
-
반도체 및 집적 회로 제조
-
리소그래피, 에칭, 이온 주입, 박막 증착(CVD, PVD)과 같은 칩 제조 공정에 사용
-
웨이퍼 오염을 방지하기 위해 오일이 없는 작동을 보장
-
주요 장비: 전자빔 리소그래피 시스템, 플라즈마 에처, MBE 시스템
-
관련 상품
우리의 제품은 전 세계적으로 판매됩니다. 당신은 우리 제품의 전체 과정을 안심할 수 있습니다.