全アルミニウム合金製 70L/s 50Hz 0.75kW アーミーグリーン ブースターポンプ、メカニカルルーツポンプ BSJ70L
ルーツ真空ポンプは、さまざまな業界で広く使用されている真空ポンプの一種です。その主な機能は次のとおりです。
- 高真空状態の達成: 密閉されたチャンバーからガスを排出し、高真空環境を作り出すことができます。半導体製造、真空コーティング、科学研究など、高度な真空度が必要な用途でよく使用されます。
- ポンピング速度の向上: ルーツ真空ポンプは比較的高いポンピング速度を持っており、チャンバーからガスをすばやく除去できます。これは、時間の節約と生産性の向上に不可欠な、迅速な排気が必要なプロセスで重要です。
- 他のポンプとの組み合わせでの運転: 通常、ロータリーベーンポンプや拡散ポンプなど、他のタイプの真空ポンプと直列に使用されます。ルーツポンプは、システムの圧力をすばやく下げるためにポンピングの初期段階を処理でき、その後、他のポンプが引き継いでさらに高い真空レベルを達成できます。この組み合わせにより、幅広い圧力レベルで効率的かつ効果的な真空生成が可能になります。
- さまざまな種類のガスの処理: 空気、窒素、一部の有機蒸気など、さまざまな種類のガスをポンピングできます。ただし、その性能は、ポンピングされる特定のガスによって異なる場合があります。
- 真空安定性の維持: 目的の真空レベルに達すると、ルーツ真空ポンプは、チャンバーに漏れ込んだり、チャンバー内の材料から放出されたりする可能性のあるガスを継続的に除去することにより、真空の安定性を維持するのに役立ちます。
技術パラメータ:
| モデル |
単位 |
BSJ70L |
| ポンピング速度 |
50 Hz |
m³h-1 / Lmin-1 |
280/4670 |
| 60 Hz |
330/5500 |
| 最大許容差圧 |
50 Hz |
Pa |
4.0x103 |
| 60Hz |
Pa |
3.3x103 |
| 最大入口圧力 |
50Hz |
Pa |
1.2x103 |
| 60Hz |
Pa |
9.3x102 |
|
究極真空
|
mbar |
4×10-4
|
| モーター出力 |
kW(hp) |
0.75 (1.0) |
| 入口 |
-- |
VG80 |
| 出口 |
-- |
VF80 |
| 流量 |
L/min |
2 |
| MPa |
0.1 |
| 水温 |
5~30 |
| オイル必要量 |
L |
0.8 |
| 周囲温度 |
℃ |
5~40 |
| 真空ポンプオイル |
-- |
BSO-46 |
注記:
*1 値は、フォアポンプの性能によって異なります。上記のデータは、標準的なフォアポンプと組み合わせてポンプを使用した場合に得られます。
*2 このシートの「究極圧力」の値は、Baosi特殊ポンプオイルを使用した場合にPiraniゲージで測定され、McLeodゲージを使用する場合は4x10-3である必要があります。
性能曲線:

図面:

アプリケーション
- リークテストシステム
- 真空コーティング
- 真空炉
- 電力工学
- 機械製造
- 光学フィルム
- 太陽エネルギー
- 分析および研究室