Τουρμπομοριακή αντλία κενού με λίπανση γράσου DFFZ250/2000
ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΤΙΚΑ
1. Λίπανση με γράσο
2. Αερόψυκτη/Υδρόψυκτη
3. Εγκατάσταση σε οποιαδήποτε γωνία
ΤΕΧΝΙΚΕΣ ΠΑΡΑΜΕΤΡΟΙ
Μοντέλο | FFZ250/2000 | ||
Φλάντζα εισόδου | - | LF250 | CF250 |
Φλάντζα εξόδου | - | KF40 | |
Ταχύτητα άντλησης | L/s | 2000 | |
Λόγος συμπίεσης N2/H2 | - | 108 / 104 | |
Τελική πίεση | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
Ταχύτητα περιστροφής | rpm | 24000 | |
Χρόνος εκκίνησης | min | ≤6 | |
Δόνηση | μm | ≤0.1 | |
Ταχύτητα αντλίας προκενού | L/s | 2 | |
Θερμοκρασία νερού ψύξης | ≤20 | ||
Ροή νερού ψύξης | L/s | 1 | |
Μέγιστη ισχύς | kW | 750 | |
Τάση θερμαντήρα | V | AC220 | |
Κατεύθυνση εγκατάστασης | - | Οποιαδήποτε γωνία | |
Βάρος | kg | 32/35 |
Καμπύλη άντλησης
Σχέδιο αντλίας
Εφαρμογές
Εφαρμογές μοριακών αντλιών σε διάφορες βιομηχανίες
Οι μοριακές αντλίες είναι αντλίες υψηλού κενού που χρησιμοποιούνται ευρέως σε βιομηχανίες που απαιτούν καθαρά, απαλλαγμένα από λάδι περιβάλλοντα υψηλού ή υπερ-υψηλού κενού. Οι κύριοι τομείς εφαρμογής τους περιλαμβάνουν:
Κατασκευή ημιαγωγών και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων
Χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες κατασκευής τσιπ όπως λιθογραφία, χάραξη, εμφύτευση ιόντων και εναπόθεση λεπτής μεμβράνης (CVD, PVD)
Εξασφαλίζει λειτουργία χωρίς λάδι για την αποφυγή μόλυνσης των πλακιδίων
Βασικός εξοπλισμός: Συστήματα λιθογραφίας δέσμης ηλεκτρονίων, χαράκτες πλάσματος, συστήματα MBE