pompe à vide turbo-moléculaire lubrifiée par graisse DFFZ250/2000
Caractéristiques
1. Grease lubrifiée
2. refroidis par air/froid par eau
3. Installation sous n'importe quel angle
Paramètre technique
Modèle | FFZ250/2000 | ||
Flanche d'entrée | - | LF250 | CF250 |
Flanche de sortie | - | Le prix de vente | |
Vitesse de pompage | Le montant de l'aide | 2000 | |
Ratio de compression N2/H2 | - | 108/ 104 | |
Pression ultime | Je suis désolée. | 6 × 10- 7 ans | 6 × 10- 6 |
Vitesse de rotation | Rpm | 24000 | |
Temps de mise en route | minutes | ≤ 6 | |
Vibration | μm | ≤ 01 | |
Vitesse de la pompe de pré-vide | Le montant de l'aide | 2 | |
Température de l'eau de refroidissement | ≤ 20 | ||
Flux d'eau de refroidissement | Le montant de l'aide | 1 | |
Puissance maximale | Le nombre de sièges | 750 | |
Voltage du chauffe-eau | V | Pour les véhicules à moteur | |
Direction de l'installation | - | N'importe quel angle | |
Le poids | en kg | 32/35 |
courbe de pompage
Dessin de la pompe
Applications
Applications des pompes moléculaires dans diverses industries
Les pompes moléculaires sont des pompes à haut vide largement utilisées dans les industries nécessitant des environnements propres, sans huile à haut vide ou à ultra-haut vide.
Fabrication de semi-conducteurs et de circuits intégrés
Utilisé dans les procédés de fabrication de puces tels que la lithographie, la gravure, l'implantation d'ions et le dépôt de film mince (CVD, PVD)
Assure le fonctionnement sans huile pour éviter la contamination des plaquettes
Équipement clé: systèmes de lithographie par faisceau électronique, gravures au plasma, systèmes MBE