গ্রীজ-লুব্রিকেটেড টার্বো আণবিক ভ্যাকুয়াম পাম্প DFFZ250/2000
বৈশিষ্ট্য
১. গ্রীজ দ্বারা লুব্রিকেট করা
২. বায়ু-শীতল/জল-শীতল
৩. যেকোনো কোণে স্থাপনযোগ্য
প্রযুক্তিগত পরামিতি
মডেল | FFZ250/2000 | ||
ইনলেট ফ্ল্যাঞ্জ | - | LF250 | CF250 |
আউটলেট ফ্ল্যাঞ্জ | - | KF40 | |
পাম্পিং গতি | L/s | 2000 | |
কম্প্রেশন অনুপাত N2/H2 | - | 108 / 104 | |
চূড়ান্ত চাপ | Pa | 6×10-7 | 6×10-6 |
ঘূর্ণন গতি | rpm | 24000 | |
রান-আপ সময় | মিনিট | ≤6 | |
কম্পন | μm | ≤0.1 | |
ফোরভ্যাকুয়াম পাম্পের গতি | L/s | 2 | |
শীতল জলের তাপমাত্রা | ≤20 | ||
শীতল জলের প্রবাহ | L/s | 1 | |
সর্বোচ্চ ক্ষমতা | kW | 750 | |
হিটার ভোল্টেজ | V | AC220 | |
স্থাপনের দিক | - | যেকোনো কোণ | |
ওজন | কেজি | 32/35 |
পাম্পিং কার্ভ
পাম্পের চিত্র
অ্যাপ্লিকেশন
বিভিন্ন শিল্পে আণবিক পাম্পের ব্যবহার
আণবিক পাম্পগুলি উচ্চ-শূন্যতা পাম্প যা পরিষ্কার, তেল-মুক্ত উচ্চ-শূন্যতা বা অতি-উচ্চ-শূন্যতা পরিবেশের প্রয়োজনীয় শিল্পগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। তাদের প্রধান অ্যাপ্লিকেশন ক্ষেত্রগুলির মধ্যে রয়েছে:
সেমিকন্ডাক্টর এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ম্যানুফ্যাকচারিং
লিথোগ্রাফি, এচিং, আয়ন ইমপ্ল্যান্টেশন এবং পাতলা-ফিল্ম জমা (CVD, PVD)-এর মতো চিপ তৈরির প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়
ওয়েফার দূষণ রোধ করতে তেল-মুক্ত অপারেশন নিশ্চিত করে
গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জাম: ইলেকট্রন বিম লিথোগ্রাফি সিস্টেম, প্লাজমা এচার, MBE সিস্টেম