مضخة تفريغ جزيئية توربينية مشحمة بالشحم DFFZ250/2000
الميزات
1. مشحمة بالشحم
2. تبريد بالهواء/تبريد بالماء
3. تركيب بأي زاوية
المعايير الفنية
الموديل | FFZ250/2000 | ||
شفة المدخل | - | LF250 | CF250 |
شفة المخرج | - | KF40 | |
سرعة الضخ | لتر/ثانية | 2000 | |
نسبة الانضغاط N2/H2 | - | 108 / 104 | |
الضغط النهائي | باسكال | 6×10-7 | 6×10-6 |
سرعة الدوران | دورة في الدقيقة | 24000 | |
وقت التشغيل | دقيقة | ≤6 | |
الاهتزاز | μm | ≤0.1 | |
سرعة مضخة التفريغ الأولي | لتر/ثانية | 2 | |
درجة حرارة ماء التبريد | ≤20 | ||
تدفق ماء التبريد | لتر/ثانية | 1 | |
الحد الأقصى للطاقة | كيلو واط | 750 | |
جهد السخان | فولت | تيار متردد 220 | |
اتجاه التركيب | - | أي زاوية | |
الوزن | كجم | 32/35 |
منحنى الضخ
رسم المضخة
التطبيقات
تطبيقات المضخات الجزيئية في مختلف الصناعات
المضخات الجزيئية هي مضخات تفريغ عالية تستخدم على نطاق واسع في الصناعات التي تتطلب بيئات تفريغ عالية أو فائقة النظافة والخالية من الزيت. تشمل مجالات تطبيقها الرئيسية:
تصنيع أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة
تستخدم في عمليات تصنيع الرقائق مثل الطباعة الحجرية، والحفر، وزرع الأيونات، وترسيب الأغشية الرقيقة (CVD، PVD)
تضمن التشغيل الخالي من الزيت لمنع تلوث الرقائق
المعدات الرئيسية: أنظمة الطباعة الحجرية بحزمة الإلكترون، وأجهزة الحفر بالبلازما، وأنظمة MBE